सेमीकंडक्टर तकनीक के निरंतर विकास के साथ, सेमीकंडक्टर उद्योग और यहां तक कि फोटोवोल्टिक उद्योग में, वेफर सब्सट्रेट या एपिटैक्सियल शीट की सतह की गुणवत्ता की आवश्यकताएं भी बहुत सख्त हैं। तो, वेफर्स के लिए गुणवत्ता की आवश्यकताएं क्या हैं?नीलम वेफरउदाहरण के तौर पर, वेफर्स की सतह की गुणवत्ता का मूल्यांकन करने के लिए किन संकेतकों का उपयोग किया जा सकता है?
वेफर्स मूल्यांकन संकेतक क्या हैं?
तीन संकेतक
नीलम वेफ़र के लिए, इसके मूल्यांकन संकेतक कुल मोटाई विचलन (TTV), मोड़ (धनुष) और ताना (ताना) हैं। ये तीन पैरामीटर एक साथ सिलिकॉन वेफ़र की समतलता और मोटाई की एकरूपता को दर्शाते हैं, और वेफ़र की तरंग की डिग्री को माप सकते हैं। वेफ़र सतह की गुणवत्ता का मूल्यांकन करने के लिए गलियारे को समतलता के साथ जोड़ा जा सकता है।
टीटीवी, बीओडब्ल्यू, वार्प क्या है?
टीटीवी (कुल मोटाई भिन्नता)
टीटीवी वेफर की अधिकतम और न्यूनतम मोटाई के बीच का अंतर है। यह पैरामीटर वेफर की मोटाई की एकरूपता को मापने के लिए इस्तेमाल किया जाने वाला एक महत्वपूर्ण सूचकांक है। अर्धचालक प्रक्रिया में, वेफर की मोटाई पूरी सतह पर बहुत समान होनी चाहिए। माप आमतौर पर वेफर पर पाँच स्थानों पर किए जाते हैं और अंतर की गणना की जाती है। अंततः, यह मान वेफर की गुणवत्ता का आकलन करने के लिए एक महत्वपूर्ण आधार है।
झुकना
सेमीकंडक्टर निर्माण में धनुष का अर्थ है वेफर का मुड़ना, जो बिना क्लैंप किए गए वेफर के मध्यबिंदु और संदर्भ तल के बीच की दूरी को मुक्त करता है। यह शब्द संभवतः किसी वस्तु के मुड़ने पर उसके आकार के वर्णन से आया है, जैसे धनुष का घुमावदार आकार। धनुष मान को सिलिकॉन वेफर के केंद्र और किनारे के बीच विचलन को मापकर परिभाषित किया जाता है। यह मान आमतौर पर माइक्रोमीटर (µm) में व्यक्त किया जाता है।
ताना
वार्प वेफ़र्स का एक वैश्विक गुण है जो स्वतंत्र रूप से अनक्लैम्प्ड वेफ़र के मध्य और संदर्भ तल के बीच अधिकतम और न्यूनतम दूरी के बीच अंतर को मापता है। सिलिकॉन वेफ़र की सतह से तल तक की दूरी को दर्शाता है।
टीटीवी, बो, वार्प में क्या अंतर है?
टीटीवी मोटाई में परिवर्तन पर ध्यान केंद्रित करता है और वेफर के झुकने या विरूपण से संबंधित नहीं है।
धनुष समग्र मोड़ पर ध्यान केंद्रित करता है, मुख्य रूप से केंद्र बिंदु और किनारे के मोड़ पर विचार करता है।
ताना अधिक व्यापक है, जिसमें संपूर्ण वेफर सतह का झुकना और मुड़ना शामिल है।
यद्यपि ये तीन पैरामीटर सिलिकॉन वेफर के आकार और ज्यामितीय गुणों से संबंधित हैं, लेकिन उन्हें अलग-अलग तरीके से मापा और वर्णित किया जाता है, और अर्धचालक प्रक्रिया और वेफर प्रसंस्करण पर उनका प्रभाव भी अलग होता है।
तीन पैरामीटर जितने छोटे होंगे, उतना बेहतर होगा, और पैरामीटर जितना बड़ा होगा, सेमीकंडक्टर प्रक्रिया पर उतना ही अधिक नकारात्मक प्रभाव पड़ेगा। इसलिए, एक सेमीकंडक्टर व्यवसायी के रूप में, हमें पूरी प्रक्रिया प्रक्रिया के लिए वेफर प्रोफाइल मापदंडों के महत्व का एहसास होना चाहिए, सेमीकंडक्टर प्रक्रिया करते समय, विवरणों पर ध्यान देना चाहिए।
（सेंसरिंग）
पोस्ट करने का समय: जून-24-2024