वेफर सतह गुणवत्ता मूल्यांकन के संकेतक क्या हैं?

टीटीवी, बो, वार्प में क्या अंतर है?

टीटीवी मोटाई में परिवर्तन पर ध्यान केंद्रित करता है और वेफर के झुकने या विरूपण से संबंधित नहीं है।

धनुष समग्र मोड़ पर ध्यान केंद्रित करता है, मुख्य रूप से केंद्र बिंदु और किनारे के मोड़ पर विचार करता है।

ताना अधिक व्यापक है, जिसमें संपूर्ण वेफर सतह का झुकना और मुड़ना शामिल है।

यद्यपि ये तीन पैरामीटर सिलिकॉन वेफर के आकार और ज्यामितीय गुणों से संबंधित हैं, लेकिन इन्हें अलग-अलग तरीके से मापा और वर्णित किया जाता है, और अर्धचालक प्रक्रिया और वेफर प्रसंस्करण पर उनका प्रभाव भी अलग होता है।

तीन पैरामीटर जितने छोटे होंगे, उतना ही बेहतर होगा, और पैरामीटर जितना बड़ा होगा, सेमीकंडक्टर प्रक्रिया पर नकारात्मक प्रभाव उतना ही अधिक होगा। इसलिए, एक सेमीकंडक्टर व्यवसायी के रूप में, हमें पूरी प्रक्रिया के लिए वेफर प्रोफाइल पैरामीटर के महत्व को समझना चाहिए और सेमीकंडक्टर प्रक्रिया करते समय विवरणों पर ध्यान देना चाहिए।

（सेंसरिंग）