वेफर्स में TTV, BOW, WARP और TIR का क्या अर्थ है?

सिलिकॉन सेमीकंडक्टर वेफर्स या अन्य सामग्रियों से बने सब्सट्रेट्स की जांच करते समय, हमें अक्सर TTV, BOW, WARP और संभवतः TIR, STIR, LTV जैसे तकनीकी संकेतक देखने को मिलते हैं। ये पैरामीटर क्या दर्शाते हैं?

टीटीवी — कुल मोटाई भिन्नता
सर झुकाओ
वार्प — वार्प
टीआईआर — कुल संकेतित रीडिंग
STIR — साइट कुल संकेतित रीडिंग
एलटीवी — स्थानीय मोटाई भिन्नता

1. कुल मोटाई में भिन्नता — टीटीवी

जब वेफर को स्थिर अवस्था में रखकर उसके साथ निकट संपर्क में रखा जाता है, तो संदर्भ तल के सापेक्ष वेफर की अधिकतम और न्यूनतम मोटाई के बीच का अंतर। इसे आमतौर पर माइक्रोमीटर (μm) में व्यक्त किया जाता है, जिसे अक्सर ≤15 μm के रूप में दर्शाया जाता है।

2. धनुष — धनुष

वेफर की सतह के केंद्र बिंदु से संदर्भ तल तक की न्यूनतम और अधिकतम दूरी के बीच का अंतर, जब वेफर मुक्त (बिना जकड़े) अवस्था में होता है। इसमें अवतल (ऋणात्मक झुकाव) और उत्तल (धनात्मक झुकाव) दोनों स्थितियाँ शामिल हैं। इसे आमतौर पर माइक्रोमीटर (μm) में व्यक्त किया जाता है, जिसे अक्सर ≤40 μm के रूप में दर्शाया जाता है।

3. वार्प — वार्प

वेफर की सतह से संदर्भ तल (आमतौर पर वेफर की पिछली सतह) तक की न्यूनतम और अधिकतम दूरी के बीच का अंतर, जब वेफर मुक्त (बिना क्लैंप वाली) अवस्था में होता है। इसमें अवतल (नकारात्मक ताना) और उत्तल (सकारात्मक ताना) दोनों स्थितियाँ शामिल हैं। इसे आमतौर पर माइक्रोमीटर (μm) में व्यक्त किया जाता है, जिसे अक्सर ≤30 μm के रूप में दर्शाया जाता है।

4. कुल संकेतित रीडिंग — टीआईआर

जब वेफर को क्लैंप किया जाता है और वह निकट संपर्क में होता है, तो एक संदर्भ तल का उपयोग करते हुए जो गुणवत्ता क्षेत्र या वेफर सतह पर एक निर्दिष्ट स्थानीय क्षेत्र के भीतर सभी बिंदुओं के अवरोधों के योग को न्यूनतम करता है, टीआईआर वेफर सतह से इस संदर्भ तल तक की अधिकतम और न्यूनतम दूरी के बीच का विचलन होता है।

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