वेफर्स में टीटीवी, बीओडब्ल्यू, वार्प और टीआईआर का क्या अर्थ है?

अर्धचालक सिलिकॉन वेफर्स या अन्य पदार्थों से बने सबस्ट्रेट्स की जाँच करते समय, हमें अक्सर तकनीकी संकेतक मिलते हैं, जैसे: TTV, BOW, WARP, और संभवतः TIR, STIR, LTV, आदि। ये कौन से पैरामीटर दर्शाते हैं?

टीटीवी — कुल मोटाई भिन्नता
सर झुकाओ
ताना — ताना
टीआईआर - कुल संकेतित रीडिंग
STIR — साइट कुल संकेतित रीडिंग
एलटीवी - स्थानीय मोटाई भिन्नता

1. कुल मोटाई में परिवर्तन — टीटीवी

संदर्भ तल के सापेक्ष वेफर की अधिकतम और न्यूनतम मोटाई के बीच का अंतर, जब वेफर क्लैंप किया हुआ हो और निकट संपर्क में हो। इसे आमतौर पर माइक्रोमीटर (μm) में व्यक्त किया जाता है, जिसे अक्सर ≤15 μm के रूप में दर्शाया जाता है।

2. धनुष - धनुष

वेफर सतह के केंद्र बिंदु से संदर्भ तल तक न्यूनतम और अधिकतम दूरी के बीच का विचलन, जब वेफर मुक्त (अनक्लैम्प्ड) अवस्था में होता है। इसमें अवतल (ऋणात्मक धनुष) और उत्तल (धनात्मक धनुष) दोनों स्थितियाँ शामिल हैं। इसे आमतौर पर माइक्रोमीटर (μm) में व्यक्त किया जाता है, जिसे अक्सर ≤40 μm के रूप में दर्शाया जाता है।

3. ताना — ताना

वेफर की सतह से संदर्भ तल (आमतौर पर वेफर की पिछली सतह) तक की न्यूनतम और अधिकतम दूरी के बीच का विचलन, जब वेफर मुक्त (अनक्लैम्प्ड) अवस्था में होता है। इसमें अवतल (ऋणात्मक ताना) और उत्तल (धनात्मक ताना) दोनों स्थितियाँ शामिल हैं। इसे आमतौर पर माइक्रोमीटर (μm) में व्यक्त किया जाता है, जिसे अक्सर ≤30 μm के रूप में दर्शाया जाता है।

4. कुल संकेतित रीडिंग - टीआईआर

जब वेफर को क्लैंप किया जाता है और निकट संपर्क में रखा जाता है, तो एक संदर्भ तल का उपयोग किया जाता है जो गुणवत्ता क्षेत्र या वेफर सतह पर निर्दिष्ट स्थानीय क्षेत्र के भीतर सभी बिंदुओं के अवरोधों के योग को न्यूनतम करता है, तो TIR वेफर सतह से इस संदर्भ तल तक की अधिकतम और न्यूनतम दूरियों के बीच का विचलन होता है।

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