माइक्रोजेट लेजर प्रौद्योगिकी उपकरण, वेफर कटिंग, एसआईसी सामग्री प्रसंस्करण

(1) लगभग शून्य ताप क्षति
- लिक्विड जेट कूलिंग द्वारा ऊष्मा प्रभावित क्षेत्र (HAZ) को **<1μm** तक नियंत्रित किया जाता है, जिससे पारंपरिक लेजर प्रसंस्करण के कारण होने वाली सूक्ष्म दरारों से बचा जा सकता है (HAZ आमतौर पर >10μm होता है)।

(2) अति-उच्च परिशुद्धता मशीनिंग
- काटने/ड्रिलिंग की सटीकता **±0.5μm** तक, किनारे की खुरदरापन Ra<0.2μm, बाद में पॉलिश करने की आवश्यकता को कम करता है।

- जटिल 3डी संरचनाओं (जैसे शंक्वाकार छेद, आकारित खांचे) के प्रसंस्करण का समर्थन करता है।

(3) व्यापक सामग्री अनुकूलता
- कठोर और भंगुर पदार्थ: SiC, नीलम, कांच, सिरेमिक (पारंपरिक विधियों से ये आसानी से टूट जाते हैं)।

- ऊष्मा संवेदनशील सामग्री: पॉलिमर, जैविक ऊतक (ऊष्मीय विकृतीकरण का कोई खतरा नहीं)।

(4) पर्यावरण संरक्षण और दक्षता
- धूल प्रदूषण नहीं होता, तरल पदार्थों को पुनर्चक्रित और फ़िल्टर किया जा सकता है।

- प्रसंस्करण गति में 30%-50% की वृद्धि (मशीनिंग की तुलना में)।

(5) बुद्धिमान नियंत्रण
- एकीकृत दृश्य स्थिति निर्धारण और एआई पैरामीटर अनुकूलन, अनुकूली सामग्री मोटाई और दोष।