शीर्षक: चिप निर्माण में FOUP क्या है?

विषयसूची

1.​​FOUP का अवलोकन और मुख्य कार्य

2. एफओयूपी की संरचना और डिजाइन विशेषताएं

3.एफओयूपी का वर्गीकरण और अनुप्रयोग दिशानिर्देश

4. सेमीकंडक्टर विनिर्माण में FOUP का संचालन और महत्व

5. तकनीकी चुनौतियाँ और भविष्य के विकास के रुझान

6.XKH के अनुकूलित समाधान और सेवा समर्थन

सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, फ्रंट ओपनिंग यूनिफाइड पॉड (FOUP) एक महत्वपूर्ण कंटेनर है जिसका उपयोग वेफर्स की सुरक्षा, परिवहन और भंडारण के लिए किया जाता है। इसके अंदर 300 मिमी के 25 वेफर्स रखे जा सकते हैं, और इसके मुख्य घटकों में एक फ्रंट-ओपनिंग कंटेनर और खोलने और बंद करने के लिए एक समर्पित डोर फ्रेम शामिल है। FOUP 12 इंच के वेफर फैब के भीतर स्वचालित परिवहन प्रणाली में एक मुख्य वाहक है। इसे आमतौर पर बंद अवस्था में ले जाया जाता है और यह केवल उपकरण लोड पोर्ट पर धकेलने पर ही खुलता है, जिससे वेफर्स को उपकरण के लोडिंग/अनलोडिंग पोर्ट में स्थानांतरित किया जा सकता है।

एफओयूपी का डिज़ाइन सूक्ष्म-पर्यावरण आवश्यकताओं के अनुकूल बनाया गया है। इसमें वेफर डालने के लिए पीछे की ओर स्लॉट हैं, और ढक्कन को विशेष रूप से ओपनर के क्लैंप से मेल खाने के लिए डिज़ाइन किया गया है। वेफर-हैंडलिंग रोबोट क्लास 1 स्वच्छ वायु वातावरण में काम करते हैं, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि संचरण के दौरान वेफर्स दूषित न हों। इसके अलावा, एफओयूपी को एक स्वचालित सामग्री हैंडलिंग प्रणाली (एएमएचएस) के माध्यम से प्रक्रिया उपकरणों के बीच ले जाया जाता है। आधुनिक वेफर फ़ैब परिवहन के लिए ज़्यादातर ओवरहेड रेल सिस्टम का उपयोग करते हैं, जबकि कुछ पुराने फ़ैब ग्राउंड-बेस्ड ऑटोमेटेड गाइडेड व्हीकल्स (एजीवी) का उपयोग कर सकते हैं।

FOUP न केवल स्वचालित वेफर स्थानांतरण को सक्षम बनाता है, बल्कि भंडारण का कार्य भी करता है। कई निर्माण चरणों के कारण, वेफर्स की पूरी प्रक्रिया पूरी होने में महीनों लग सकते हैं। उच्च मासिक उत्पादन मात्रा के साथ, इसका मतलब है कि किसी भी समय एक फैब के भीतर हज़ारों वेफर्स लगातार परिवहन या अस्थायी भंडारण में होते हैं। भंडारण के दौरान, दूषित पदार्थों को वेफर्स के संपर्क में आने से रोकने के लिए FOUP को समय-समय पर नाइट्रोजन से शुद्ध किया जाता है, जिससे एक स्वच्छ और विश्वसनीय उत्पादन प्रक्रिया सुनिश्चित होती है।

1. एफओयूपी के कार्य और महत्व

एफओयूपी का मुख्य कार्य वेफर्स को बाहरी आघात और संदूषण से बचाना है, विशेष रूप से स्थानांतरण के दौरान उपज पर पड़ने वाले प्रभावों से बचना। यह गैस शुद्धिकरण और स्थानीय वातावरण नियंत्रण (एलएसी) जैसी विधियों के माध्यम से नमी को प्रभावी ढंग से रोकता है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि अगले निर्माण चरण की प्रतीक्षा करते समय वेफर्स सुरक्षित अवस्था में रहें। इसकी सीलबंद और नियंत्रित प्रणाली केवल आवश्यक यौगिकों और तत्वों को ही प्रवेश करने देती है, जिससे वेफर्स पर वीओसी, ऑक्सीजन और नमी के प्रतिकूल प्रभावों को काफी कम किया जा सकता है।

चूँकि 25 वेफर्स से पूरी तरह भरा एक FOUP 9 किलोग्राम तक वज़न उठा सकता है, इसलिए इसके परिवहन के लिए एक स्वचालित सामग्री हैंडलिंग प्रणाली (AMHS) का इस्तेमाल ज़रूरी है। इस सुविधा के लिए, FOUP को कपलिंग प्लेटों, पिनों और छिद्रों के विभिन्न संयोजनों के साथ डिज़ाइन किया गया है, और आसान पहचान और वर्गीकरण के लिए RFID इलेक्ट्रॉनिक टैग से लैस किया गया है। इस स्वचालित हैंडलिंग के लिए लगभग किसी भी मैन्युअल संचालन की आवश्यकता नहीं होती है, जिससे त्रुटि दर बहुत कम हो जाती है और निर्माण प्रक्रिया की सुरक्षा और सटीकता बढ़ जाती है।

2. एफओयूपी की संरचना और वर्गीकरण

एक FOUP के विशिष्ट आयाम लगभग 420 मिमी चौड़ाई, 335 मिमी गहराई और 335 मिमी ऊँचाई के होते हैं। इसके मुख्य संरचनात्मक घटकों में शामिल हैं: ओवरहेड होइस्ट परिवहन के लिए एक ऊपरी OHT (मशरूम हेड); उपकरण वेफर तक पहुँच के लिए एक सामने का दरवाज़ा; साइड हैंडल, जिन्हें अक्सर विभिन्न संदूषण स्तरों वाले प्रक्रिया क्षेत्रों को अलग करने के लिए रंग-कोडित किया जाता है; संदेश कार्ड रखने के लिए एक कार्ड क्षेत्र; और एक निचला RFID टैग जो FOUP के लिए विशिष्ट पहचानकर्ता के रूप में कार्य करता है, जिससे उपकरण और ओवरहेड होइस्ट इसे पहचान सकते हैं। आधार में उपकरणों के साथ मिलान करने और प्रक्रिया क्षेत्रों को अलग करने के लिए चार पहचान और स्थिति निर्धारण छिद्र भी लगे हैं।

उपयोग के आधार पर, FOUPs को तीन प्रकारों में वर्गीकृत किया जाता है: PRD (उत्पादन के लिए), ENG (इंजीनियरिंग वेफर्स के लिए), और MON (मॉनिटर वेफर्स के लिए)। PRD FOUPs का उपयोग उत्पाद निर्माण के लिए किया जा सकता है, ENG प्रकार अनुसंधान एवं विकास या प्रयोगों के लिए उपयुक्त हैं, और MON प्रकार CMP और DIFF जैसे चरणों की प्रक्रिया निगरानी के लिए समर्पित हैं। यह ध्यान रखना महत्वपूर्ण है कि PRD FOUPs का उपयोग ENG और MON दोनों उद्देश्यों के लिए किया जा सकता है, और ENG प्रकार का उपयोग MON के लिए किया जा सकता है, लेकिन इसके विपरीत उपयोग से गुणवत्ता संबंधी जोखिम हो सकते हैं।

संदूषण स्तर के आधार पर, FOUP को FE FOUP (फ्रंट-एंड प्रोसेस, धातु-मुक्त), BE FOUP (बैक-एंड प्रोसेस, धातु युक्त) और विशिष्ट धातु प्रक्रियाओं, जैसे NI FOUP, CU FOUP, और CO FOUP, में विभाजित किया जा सकता है। विभिन्न प्रक्रियाओं के FOUP आमतौर पर साइड हैंडल या दरवाज़े के पैनल के रंग से पहचाने जाते हैं। फ्रंट-एंड प्रक्रियाओं के FOUP का उपयोग बैक-एंड प्रक्रियाओं में किया जा सकता है, लेकिन बैक-एंड FOUP का उपयोग कभी भी फ्रंट-एंड प्रक्रियाओं में नहीं किया जाना चाहिए, क्योंकि इससे संदूषण का खतरा हो सकता है।

सेमीकंडक्टर विनिर्माण में एक प्रमुख वाहक के रूप में, FOUP, उच्च स्वचालन और सख्त संदूषण नियंत्रण के माध्यम से, उत्पादन प्रक्रिया के दौरान वेफर्स की सुरक्षा और स्वच्छता सुनिश्चित करता है, जिससे यह आधुनिक वेफर फैब्स में एक अपरिहार्य बुनियादी ढांचा बन जाता है।

निष्कर्ष

XKH ग्राहकों को अत्यधिक अनुकूलित फ्रंट-ओपनिंग यूनिफाइड पॉड (FOUP) समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है, जो आपकी विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताओं और उपकरण इंटरफ़ेस विनिर्देशों का सख्ती से पालन करता है। उन्नत सामग्री प्रौद्योगिकी और सटीक विनिर्माण प्रक्रियाओं का लाभ उठाते हुए, हम सुनिश्चित करते हैं कि प्रत्येक FOUP उत्पाद असाधारण वायुरोधीपन, स्वच्छता और यांत्रिक स्थिरता प्रदान करे। हमारी तकनीकी टीम में गहन उद्योग विशेषज्ञता है, जो चयन परामर्श और संरचनात्मक अनुकूलन से लेकर सफाई और रखरखाव तक व्यापक जीवनचक्र समर्थन प्रदान करती है—FOUP और आपके स्वचालित सामग्री हैंडलिंग सिस्टम (AMHS) के साथ-साथ प्रसंस्करण उपकरणों के बीच सहज एकीकरण और कुशल सहयोग सुनिश्चित करती है। हम वेफर्स की सुरक्षा और उत्पादन क्षमता में वृद्धि को अपने मुख्य उद्देश्यों के रूप में लगातार प्राथमिकता देते हैं।