SiC नीलम Si GAA वेफर के लिए सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक चक

प्रश्न 1: SiC सिरेमिक चक की तुलना क्वार्ट्ज या धातु के चक से कैसे की जाती है?
A1: SiC चक हल्के, अधिक कठोर होते हैं और इनका CTE सिलिकॉन वेफर्स के लगभग बराबर होता है, जिससे थर्मल विरूपण कम से कम होता है। साथ ही, ये बेहतर घिसाव प्रतिरोध और लंबी आयु प्रदान करते हैं।

प्रश्न 2: किस प्रकार की समतलता प्राप्त की जा सकती है?
A2: नियंत्रित के अंतर्गत0.3–0.5 μmसेमीकंडक्टर उत्पादन की कठोर मांगों को पूरा करते हुए।

Q3: क्या सतह से वेफर्स पर खरोंच आ जाएगी?
A3: नहीं—दर्पण की तरह पॉलिश किया हुआRa 0.02 μmजिससे खरोंच रहित हैंडलिंग सुनिश्चित होती है और कणों का उत्पादन कम होता है।

प्रश्न 4: वेफर के कौन-कौन से आकार समर्थित हैं?
A4: मानक आकार6'', 8'' और 12''अनुकूलन की सुविधा उपलब्ध है।

प्रश्न 5: ऊष्मीय प्रतिरोध कैसा है?
A5: SiC सिरेमिक थर्मल साइक्लिंग के तहत न्यूनतम विरूपण के साथ उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रदर्शन प्रदान करते हैं।