156 मिमी 159 मिमी 6 इंच नीलम वेफर वाहक सी-प्लेन डीएसपी टीटीवी के लिए
विनिर्देश
| वस्तु | 6-इंच सी-प्लेन(0001) सफायर वेफर्स | |
| क्रिस्टल सामग्री | 99,999%, उच्च शुद्धता, मोनोक्रिस्टलाइन Al2O3 | |
| श्रेणी | प्राइम, एपी-रेडी | |
| सतह अभिविन्यास | सी-प्लेन(0001) | |
| सी-प्लेन का ऑफ-एंगल एम-अक्ष की ओर 0.2 +/- 0.1° | ||
| व्यास | 100.0 मिमी +/- 0.1 मिमी | |
| मोटाई | 650μm +/- 25μm | |
| प्राथमिक फ्लैट अभिविन्यास | सी-प्लेन(00-01) +/- 0.2° | |
| एक तरफ पॉलिश | सामने की सतह | एपी-पॉलिश्ड, रा < 0.2 एनएम (एएफएम द्वारा) |
| (एसएसपी) | पीछे की सतह | बारीक पिसा हुआ, Ra = 0.8 μm से 1.2 μm |
| डबल साइड पॉलिश | सामने की सतह | एपी-पॉलिश्ड, रा < 0.2 एनएम (एएफएम द्वारा) |
| (डीएसपी) | पीछे की सतह | एपी-पॉलिश्ड, रा < 0.2 एनएम (एएफएम द्वारा) |
| टीटीवी | < 20 माइक्रोन | |
| झुकना | < 20 माइक्रोन | |
| ताना | < 20 माइक्रोन | |
| सफाई / पैकेजिंग | क्लास 100 क्लीनरूम सफाई और वैक्यूम पैकेजिंग, | |
| एक कैसेट पैकेजिंग या एकल टुकड़ा पैकेजिंग में 25 टुकड़े। | ||
काइलोपोलोस विधि (केवाई विधि) का उपयोग वर्तमान में चीन में कई कंपनियों द्वारा इलेक्ट्रॉनिक्स और प्रकाशिकी उद्योगों में उपयोग के लिए नीलम क्रिस्टल का उत्पादन करने के लिए किया जाता है।
इस प्रक्रिया में, उच्च शुद्धता वाले एल्युमीनियम ऑक्साइड को 2100 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान पर क्रूसिबल में पिघलाया जाता है। आमतौर पर क्रूसिबल टंगस्टन या मोलिब्डेनम से बना होता है। एक सटीक रूप से उन्मुख बीज क्रिस्टल को पिघले हुए एल्युमिना में डुबोया जाता है। बीज क्रिस्टल को धीरे-धीरे ऊपर की ओर खींचा जाता है और साथ ही घुमाया जा सकता है। तापमान ढाल, खींचने की दर और ठंडा करने की दर को ठीक से नियंत्रित करके, पिघले हुए पदार्थ से एक बड़ा, एकल-क्रिस्टल, लगभग बेलनाकार पिंड बनाया जा सकता है।
एकल क्रिस्टल नीलम सिल्लियां विकसित होने के बाद, उन्हें बेलनाकार छड़ों में ड्रिल किया जाता है, जिन्हें फिर वांछित खिड़की की मोटाई में काटा जाता है और अंत में वांछित सतह खत्म करने के लिए पॉलिश किया जाता है।
विस्तृत आरेख
