कैरियर सी-प्लेन डीएसपी टीटीवी के लिए 156 मिमी 159 मिमी 6 इंच नीलमणि वेफर
विनिर्देश
| वस्तु | 6 इंच सी-प्लेन(0001) नीलमणि वेफर्स | |
| क्रिस्टल सामग्री | 99,999%, उच्च शुद्धता, मोनोक्रिस्टलाइन Al2O3 | |
| श्रेणी | प्राइम, एपी-रेडी | |
| भूतल अभिविन्यास | सी-प्लेन(0001) | |
| सी-प्लेन एम-अक्ष की ओर ऑफ-एंगल 0.2 +/- 0.1° | ||
| व्यास | 100.0 मिमी +/- 0.1 मिमी | |
| मोटाई | 650 μm +/- 25 μm | |
| प्राथमिक फ्लैट अभिविन्यास | सी-प्लेन(00-01) +/- 0.2° | |
| सिंगल साइड पॉलिश | सामने की सतह | एपि-पॉलिश, रा <0.2 एनएम (एएफएम द्वारा) |
| (एसएसपी) | पीछे की सतह | बढ़िया ज़मीन, रा = 0.8 μm से 1.2 μm |
| डबल साइड पॉलिश | सामने की सतह | एपि-पॉलिश, रा <0.2 एनएम (एएफएम द्वारा) |
| (डीएसपी) | पीछे की सतह | एपि-पॉलिश, रा <0.2 एनएम (एएफएम द्वारा) |
| टीटीवी | <20 μm | |
| झुकना | <20 μm | |
| ताना | <20 μm | |
| सफाई/पैकेजिंग | कक्षा 100 क्लीनरूम सफाई और वैक्यूम पैकेजिंग, | |
| एक कैसेट पैकेजिंग या सिंगल पीस पैकेजिंग में 25 टुकड़े। | ||
काइलोपोलोस विधि (केवाई विधि) का उपयोग वर्तमान में चीन में कई कंपनियों द्वारा इलेक्ट्रॉनिक्स और ऑप्टिक्स उद्योगों में उपयोग के लिए नीलमणि क्रिस्टल का उत्पादन करने के लिए किया जाता है।
इस प्रक्रिया में, उच्च शुद्धता वाले एल्यूमीनियम ऑक्साइड को 2100 डिग्री सेल्सियस से ऊपर के तापमान पर क्रूसिबल में पिघलाया जाता है। आमतौर पर क्रूसिबल टंगस्टन या मोलिब्डेनम से बना होता है। एक सटीक रूप से उन्मुख बीज क्रिस्टल को पिघले हुए एल्यूमिना में डुबोया जाता है। बीज क्रिस्टल को धीरे-धीरे ऊपर की ओर खींचा जाता है और साथ ही घुमाया जा सकता है। तापमान प्रवणता, खींचने की दर और शीतलन दर को सटीक रूप से नियंत्रित करके, पिघल से एक बड़ा, एकल-क्रिस्टल, लगभग बेलनाकार पिंड तैयार किया जा सकता है।
एकल क्रिस्टल नीलम सिल्लियां विकसित होने के बाद, उन्हें बेलनाकार छड़ों में ड्रिल किया जाता है, जिन्हें फिर वांछित खिड़की की मोटाई में काटा जाता है और अंत में वांछित सतह खत्म करने के लिए पॉलिश किया जाता है।
विस्तृत आरेख
