8 इंच SiC उत्पादन ग्रेड वेफर 4H-N SiC सब्सट्रेट
नीचे दी गई तालिका हमारे 8 इंच SiC वेफर्स के विनिर्देशों को दर्शाती है:
| 8 इंच एन-टाइप SiC डीएसपी स्पेसिफिकेशन्स | |||||
| संख्या | वस्तु | इकाई | उत्पादन | अनुसंधान | डमी |
| 1:पैरामीटर | |||||
| 1.1 | पॉलीटाइप | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | सतह अभिविन्यास | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: विद्युत पैरामीटर | |||||
| 2.1 | डोपेंट | -- | एन-प्रकार नाइट्रोजन | एन-प्रकार नाइट्रोजन | एन-प्रकार नाइट्रोजन |
| 2.2 | प्रतिरोधकता | ओम ·सेमी | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3:यांत्रिक पैरामीटर | |||||
| 3.1 | व्यास | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | मोटाई | माइक्रोन | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | नॉच अभिविन्यास | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | नॉच गहराई | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | एलटीवी | माइक्रोन | ≤5(10 मिमी*10 मिमी) | ≤5(10 मिमी*10 मिमी) | ≤10(10 मिमी*10 मिमी) |
| 3.6 | टीटीवी | माइक्रोन | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | झुकना | माइक्रोन | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | ताना | माइक्रोन | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | एएफएम | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: संरचना | |||||
| 4.1 | माइक्रोपाइप घनत्व | ईए/सेमी2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | धातु सामग्री | परमाणु/सेमी2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | टीएसडी | ईए/सेमी2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | बीपीडी | ईए/सेमी2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | टेड | ईए/सेमी2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. सामने की गुणवत्ता | |||||
| 5.1 | सामने | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | सतह की फिनिश | -- | Si-फेस CMP | Si-फेस CMP | Si-फेस CMP |
| 5.3 | कण | प्रत्येक/वेफर | ≤100 (आकार ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | खरोंचना | प्रत्येक/वेफर | ≤5, कुल लंबाई ≤200 मिमी | NA | NA |
| 5.5 | किनारा खरोंच/निशान/दरारें/धब्बे/संदूषण | -- | कोई नहीं | कोई नहीं | NA |
| 5.6 | पॉलीटाइप क्षेत्र | -- | कोई नहीं | क्षेत्रफल ≤10% | क्षेत्रफल ≤30% |
| 5.7 | सामने की मार्किंग | -- | कोई नहीं | कोई नहीं | कोई नहीं |
| 6: पीछे की गुणवत्ता | |||||
| 6.1 | बैक फिनिश | -- | सी-फेस सांसद | सी-फेस सांसद | सी-फेस सांसद |
| 6.2 | खरोंचना | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | पीछे के दोष किनारे चिप्स/इंडेंट्स | -- | कोई नहीं | कोई नहीं | NA |
| 6.4 | पीठ की खुरदरापन | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | पीछे की ओर निशान | -- | निशान | निशान | निशान |
| 7:किनारा | |||||
| 7.1 | किनारा | -- | नाला | नाला | नाला |
| 8: पैकेज | |||||
| 8.1 | पैकेजिंग | -- | वैक्यूम के साथ एपि-रेडी पैकेजिंग | वैक्यूम के साथ एपि-रेडी पैकेजिंग | वैक्यूम के साथ एपि-रेडी पैकेजिंग |
| 8.2 | पैकेजिंग | -- | बहु वेफर कैसेट पैकेजिंग | बहु वेफर कैसेट पैकेजिंग | बहु वेफर कैसेट पैकेजिंग |
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