Dia300x1.0mmt मोटाई नीलमणि वेफर सी-प्लेन एसएसपी/डीएसपी
वेफर बॉक्स का परिचय
| क्रिस्टल सामग्री | 99,999% Al2O3, उच्च शुद्धता, मोनोक्रिस्टलाइन, Al2O3 | |||
| क्रिस्टल गुणवत्ता | समावेशन, ब्लॉक चिह्न, जुड़वाँ, रंग, सूक्ष्म बुलबुले और फैलाव केंद्र अस्तित्वहीन हैं | |||
| व्यास | 2 इंच | 3इंच | 4 इंच | 6 इंच ～ 12 इंच |
| 50.8± 0.1 मिमी | 76.2±0.2मिमी | 100±0.3मिमी | मानक उत्पादन के प्रावधानों के अनुसार | |
| मोटाई | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | ग्राहक द्वारा अनुकूलित किया जा सकता है |
| अभिविन्यास | सी-प्लेन (0001) से एम-प्लेन (1-100) या ए-प्लेन(1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, आर-प्लेन (1-1 0 2), ए-प्लेन (1 1-2 0 ), एम-प्लेन(1-1 0 0), कोई भी अभिविन्यास, कोई भी कोण | |||
| प्राथमिक सपाट लंबाई | 16.0±1मिमी | 22.0±1.0मिमी | 32.5±1.5 मिमी | मानक उत्पादन के प्रावधानों के अनुसार |
| प्राथमिक फ्लैट ओरिएंटेशन | ए-प्लेन (1 1-2 0 ) ± 0.2° | |||
| टीटीवी | ≤10μm | ≤15µm | ≤20μm | ≤30μm |
| एलटीवी | ≤10μm | ≤15µm | ≤20μm | ≤30μm |
| टीआईआर | ≤10μm | ≤15µm | ≤20μm | ≤30μm |
| झुकना | ≤10μm | ≤15µm | ≤20μm | ≤30μm |
| ताना | ≤10μm | ≤15µm | ≤20μm | ≤30μm |
| सामने की सतह | एपि-पॉलिश (रा<0.2एनएम) | |||
*धनुष: संदर्भ तल से एक स्वतंत्र, बिना क्लैंप वाले वेफर की मध्य सतह के केंद्र बिंदु का विचलन, जहां संदर्भ तल को एक समबाहु त्रिभुज के तीन कोनों द्वारा परिभाषित किया जाता है।
*ताना: ऊपर परिभाषित संदर्भ तल से एक मुक्त, बिना क्लैंप वाले वेफर की मध्य सतह की अधिकतम और न्यूनतम दूरी के बीच का अंतर।
अगली पीढ़ी के सेमीकंडक्टर उपकरणों और एपिटैक्सियल विकास के लिए उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और सेवाएँ:
समतलता की उच्च डिग्री (नियंत्रित टीटीवी, धनुष, ताना आदि)
उच्च गुणवत्ता वाली सफाई (कम कण संदूषण, कम धातु संदूषण)
सब्सट्रेट ड्रिलिंग, ग्रूविंग, कटिंग और बैकसाइड पॉलिशिंग
सब्सट्रेट की सफाई और आकार जैसे डेटा संलग्न करना (वैकल्पिक)
यदि आपको नीलमणि सबस्ट्रेट्स की आवश्यकता है, तो कृपया बेझिझक संपर्क करें：
मेल：eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
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