व्यास 300 x 1.0 मिमी मोटाई वाला नीलम वेफर, सी-प्लेन एसएसपी/डीएसपी

संक्षिप्त वर्णन:

शंघाई शिंकेहुई न्यू मटेरियल कंपनी लिमिटेड विभिन्न सतह अभिविन्यासों (सी, आर, ए और एम-प्लेन) वाले नीलमणि वेफर्स का उत्पादन कर सकती है और ऑफ-कट कोण को 0.1 डिग्री की सटीकता तक नियंत्रित कर सकती है। अपनी विशिष्ट तकनीक का उपयोग करके, हम एपिटैक्सियल ग्रोथ और वेफर बॉन्डिंग जैसे अनुप्रयोगों के लिए आवश्यक उच्च गुणवत्ता प्राप्त करने में सक्षम हैं।


विशेषताएँ

परीक्षण1

वेफर बॉक्स का परिचय

क्रिस्टल सामग्री 99.999% Al2O3, उच्च शुद्धता, मोनोक्रिस्टलाइन, Al2O3
क्रिस्टल गुणवत्ता समावेशन, ब्लॉक चिह्न, जुड़वाँ, रंग, सूक्ष्म बुलबुले और फैलाव केंद्र मौजूद नहीं हैं।
व्यास 2 इंच 3 इंच 4 इंच 6 इंच से 12 इंच तक
50.8 ± 0.1 मिमी 76.2±0.2 मिमी 100±0.3 मिमी मानक उत्पादन के प्रावधानों के अनुसार
मोटाई 430±15µm 550±15µm 650±20µm ग्राहक की आवश्यकतानुसार अनुकूलित किया जा सकता है
अभिविन्यास C-तल (0001) से M-तल (1-100) या A-तल (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-तल (1-1 0 2), A-तल (1 1-2 0), M-तल (1-1 0 0), कोई भी अभिविन्यास, कोई भी कोण
प्राथमिक समतल लंबाई 16.0±1 मिमी 22.0±1.0 मिमी 32.5±1.5 मिमी मानक उत्पादन के प्रावधानों के अनुसार
प्राथमिक समतल अभिविन्यास ए-प्लेन (1 1-2 0 ) ± 0.2°      
टीटीवी ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
एलटीवी ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
टीआईआर ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
झुकना ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
ताना ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
सामने की सतह एपी-पॉलिश्ड (Ra< 0.2nm)

*बो: एक मुक्त, बिना जकड़े हुए वेफर की मध्य सतह के केंद्र बिंदु का संदर्भ तल से विचलन, जहां संदर्भ तल एक समबाहु त्रिभुज के तीन कोनों द्वारा परिभाषित किया जाता है।

*वार्प: ऊपर परिभाषित संदर्भ तल से एक मुक्त, बिना जकड़े हुए वेफर की मध्य सतह की अधिकतम और न्यूनतम दूरी के बीच का अंतर।

अगली पीढ़ी के सेमीकंडक्टर उपकरणों और एपिटैक्सियल विकास के लिए उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और सेवाएं:

उच्च स्तर की समतलता (नियंत्रित टीटीवी, झुकाव, ताना-बाना आदि)

उच्च गुणवत्ता वाली सफाई (कम कण संदूषण, कम धातु संदूषण)

सतह की ड्रिलिंग, ग्रूविंग, कटिंग और बैकसाइड पॉलिशिंग

सतह की स्वच्छता और आकार जैसी जानकारी संलग्न करना (वैकल्पिक)

यदि आपको नीलम के सब्सट्रेट की आवश्यकता हो, तो कृपया बेझिझक संपर्क करें:

मेल:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522

हम जल्द से जल्द आपसे संपर्क करेंगे!

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