व्यास 300 x 1.0 मिमी मोटाई वाला नीलम वेफर, सी-प्लेन एसएसपी/डीएसपी
वेफर बॉक्स का परिचय
| क्रिस्टल सामग्री | 99.999% Al2O3, उच्च शुद्धता, मोनोक्रिस्टलाइन, Al2O3 | |||
| क्रिस्टल गुणवत्ता | समावेशन, ब्लॉक चिह्न, जुड़वाँ, रंग, सूक्ष्म बुलबुले और फैलाव केंद्र मौजूद नहीं हैं। | |||
| व्यास | 2 इंच | 3 इंच | 4 इंच | 6 इंच से 12 इंच तक |
| 50.8 ± 0.1 मिमी | 76.2±0.2 मिमी | 100±0.3 मिमी | मानक उत्पादन के प्रावधानों के अनुसार | |
| मोटाई | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | ग्राहक की आवश्यकतानुसार अनुकूलित किया जा सकता है |
| अभिविन्यास | C-तल (0001) से M-तल (1-100) या A-तल (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-तल (1-1 0 2), A-तल (1 1-2 0), M-तल (1-1 0 0), कोई भी अभिविन्यास, कोई भी कोण | |||
| प्राथमिक समतल लंबाई | 16.0±1 मिमी | 22.0±1.0 मिमी | 32.5±1.5 मिमी | मानक उत्पादन के प्रावधानों के अनुसार |
| प्राथमिक समतल अभिविन्यास | ए-प्लेन (1 1-2 0 ) ± 0.2° | |||
| टीटीवी | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| एलटीवी | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| टीआईआर | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| झुकना | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| ताना | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| सामने की सतह | एपी-पॉलिश्ड (Ra< 0.2nm) | |||
*बो: एक मुक्त, बिना जकड़े हुए वेफर की मध्य सतह के केंद्र बिंदु का संदर्भ तल से विचलन, जहां संदर्भ तल एक समबाहु त्रिभुज के तीन कोनों द्वारा परिभाषित किया जाता है।
*वार्प: ऊपर परिभाषित संदर्भ तल से एक मुक्त, बिना जकड़े हुए वेफर की मध्य सतह की अधिकतम और न्यूनतम दूरी के बीच का अंतर।
अगली पीढ़ी के सेमीकंडक्टर उपकरणों और एपिटैक्सियल विकास के लिए उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और सेवाएं:
उच्च स्तर की समतलता (नियंत्रित टीटीवी, झुकाव, ताना-बाना आदि)
उच्च गुणवत्ता वाली सफाई (कम कण संदूषण, कम धातु संदूषण)
सतह की ड्रिलिंग, ग्रूविंग, कटिंग और बैकसाइड पॉलिशिंग
सतह की स्वच्छता और आकार जैसी जानकारी संलग्न करना (वैकल्पिक)
यदि आपको नीलम के सब्सट्रेट की आवश्यकता हो, तो कृपया बेझिझक संपर्क करें:
मेल:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
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