सेमीकंडक्टर और क्लीनरूम ऑटोमेशन के लिए उच्च-प्रदर्शन एल्यूमिना सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर (फोर्क आर्म)
विस्तृत आरेख


उत्पाद परिचय

एल्युमिना सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर, जिसे सिरेमिक फ़ोर्क आर्म या रोबोटिक सिरेमिक हैंड भी कहा जाता है, एक उच्च-परिशुद्धता हैंडलिंग घटक है जिसे सेमीकंडक्टर, फोटोवोल्टिक, पैनल डिस्प्ले और उच्च-शुद्धता प्रयोगशाला वातावरण में स्वचालित प्रणालियों के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसे असाधारण तापीय स्थिरता, यांत्रिक कठोरता और रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो सिलिकॉन वेफ़र्स, ग्लास सबस्ट्रेट्स और इलेक्ट्रॉनिक माइक्रो-कंपोनेंट्स जैसी संवेदनशील सामग्रियों के स्वच्छ, विश्वसनीय और सुरक्षित परिवहन की सुविधा प्रदान करता है।
एक प्रकार के रोबोटिक एंड इफ़ेक्टर के रूप में, यह सिरेमिक घटक स्वचालन प्रणाली और वर्कपीस के बीच अंतिम इंटरफ़ेस है। यह क्लीनरूम और वैक्यूम वातावरण में सटीक स्थानांतरण, संरेखण, लोडिंग/अनलोडिंग और पोजिशनिंग कार्यों में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।
सामग्री अवलोकन – एल्यूमिना सिरेमिक (Al₂O₃)
एल्युमिना सिरेमिक एक अत्यधिक स्थिर और रासायनिक रूप से निष्क्रिय तकनीकी सिरेमिक पदार्थ है जो अपने उत्कृष्ट यांत्रिक और विद्युत गुणों के लिए जाना जाता है। इन एंड इफेक्टर्स में प्रयुक्त उच्च शुद्धता (≥ 99.5%) एल्युमिना सुनिश्चित करता है:
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उच्च कठोरता (मोह्स 9)हीरे के बाद दूसरे स्थान पर एल्युमिना अत्यधिक घिसाव प्रतिरोध प्रदान करता है।
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उच्च तापमान क्षमता: 1600°C से ऊपर संरचनात्मक अखंडता बनाए रखता है।
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रासायनिक जड़ता: अम्ल, क्षार, विलायक और प्लाज्मा नक़्क़ाशी वातावरण के प्रति प्रतिरोधी।
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विद्युत इन्सुलेशन: उच्च परावैद्युत शक्ति और कम परावैद्युत हानि के साथ।
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कम तापीय विस्तार: तापीय चक्रण वातावरण में आयामी स्थिरता सुनिश्चित करता है।
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कम कण उत्पादन: क्लीनरूम अनुकूलता के लिए आवश्यक (क्लास 10 से क्लास 1000 तक)।
ये विशेषताएं एल्युमिना सिरेमिक को संदूषण-संवेदनशील उद्योगों में मिशन-महत्वपूर्ण कार्यों के लिए आदर्श बनाती हैं।
कार्यात्मक अनुप्रयोग
एल्यूमिना सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर का उपयोग उच्च तकनीक वाली औद्योगिक प्रक्रियाओं में व्यापक रूप से किया जाता है, विशेष रूप से जहाँ पारंपरिक धातु या प्लास्टिक सामग्री तापीय विस्तार, संदूषण या संक्षारण संबंधी समस्याओं के कारण कमज़ोर पड़ जाती है। प्रमुख अनुप्रयोग क्षेत्रों में शामिल हैं:
- अर्धचालक वेफर स्थानांतरण
- फोटोलिथोग्राफी लोडिंग और अनलोडिंग सिस्टम
- OLED और LCD लाइनों में ग्लास सब्सट्रेट हैंडलिंग
- सौर सेल उत्पादन में क्रिस्टलीय सिलिकॉन वेफर स्थानांतरण
- स्वचालित ऑप्टिकल या माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक निरीक्षण
- विश्लेषणात्मक या जैवचिकित्सा प्रयोगशालाओं में नमूना परिवहन
- वैक्यूम पर्यावरण स्वचालन प्रणाली
कणों या स्थैतिक आवेश को शामिल किए बिना कार्य करने की इसकी क्षमता इसे क्लीनरूम स्वचालन में सटीक रोबोटिक परिचालन के लिए अपरिहार्य बनाती है।

डिज़ाइन सुविधाएँ और अनुकूलन
प्रत्येक सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर को एक विशिष्ट रोबोटिक आर्म या वेफ़र हैंडलिंग सिस्टम में फिट करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। हम निम्नलिखित के आधार पर पूर्ण अनुकूलन का समर्थन करते हैं:
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वेफर आकार संगतता: 2", 4", 6", 8", 12" और अधिक
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स्लॉट ज्यामिति और रिक्ति: किनारे की पकड़, पीछे की ओर समर्थन, या नोकदार वेफर डिज़ाइन को समायोजित करता है
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सक्शन पोर्ट: गैर-संपर्क हैंडलिंग के लिए एकीकृत वैक्यूम छेद या चैनल
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माउंटिंग कॉन्फ़िगरेशन: आपके रोबोट के अंतिम टूल फ्लैंज के अनुरूप छेद, धागे, स्लॉट
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सतह का उपचार: पॉलिश, लैप्ड, या फ़ाइन-ग्राउंड फ़िनिश (Ra < 0.2 µm उपलब्ध)
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किनारे की सुरक्षावेफर को नुकसान से बचाने के लिए कोनों को गोल किया गया है या चम्फरिंग की गई है
ग्राहकों द्वारा उपलब्ध कराए गए CAD चित्रों या 3D मॉडल का उपयोग करके, हमारे इंजीनियर प्रत्येक फोर्क आर्म को वजन, ताकत और सफाई के लिए अनुकूलित कर सकते हैं।

सिरेमिक एंड इफेक्टर्स के लाभ
विशेषता | फ़ायदा |
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उच्च यांत्रिक कठोरता | रोबोटिक लोडिंग बलों के तहत आयामी परिशुद्धता बनाए रखता है |
उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन | उच्च तापमान या प्लाज्मा वातावरण में विश्वसनीय रूप से कार्य करता है |
शून्य धातु संदूषण | महत्वपूर्ण अर्धचालक प्रसंस्करण में आयन संदूषण का कोई जोखिम नहीं |
कम घर्षण सतह | वेफर या कांच के सब्सट्रेट पर खरोंच के जोखिम को कम करता है |
एंटी-स्टेटिक और गैर-चुंबकीय | धूल को आकर्षित नहीं करता या चुंबकीय-संवेदनशील घटकों को प्रभावित नहीं करता |
लंबी सेवा जीवन | बार-बार दोहराए जाने वाले उच्च गति वाले स्वचालन चक्रों में बेहतर घिसाव प्रतिरोध |
अल्ट्रा-क्लीन संगतता | ISO 14644 क्लीनरूम (क्लास 100 और उससे नीचे) के लिए उपयुक्त |
प्लास्टिक या एल्युमीनियम आर्म्स की तुलना में, एल्युमिना सिरेमिक न्यूनतम रखरखाव आवश्यकताओं के साथ नाटकीय रूप से बेहतर रासायनिक और भौतिक स्थिरता प्रदान करता है।
संपत्ति | धातु भुजा | प्लास्टिक भुजा | एल्यूमिना सिरेमिक आर्म |
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कठोरता | मध्यम | कम | बहुत उच्च (मोह्स 9) |
तापीय स्थिरता | ≤ 500° सेल्सियस | ≤ 150° सेल्सियस | ≥ 1600° सेल्सियस |
रासायनिक प्रतिरोध | मध्यम | गरीब | उत्कृष्ट |
क्लीनरूम उपयुक्तता | मध्यम | कम | बहुत ऊँचा |
प्रतिरोध पहन | मध्यम | कम | असाधारण |
ढांकता हुआ ताकत | कम | मध्यम | उच्च |
कस्टम मशीनिंग परिशुद्धता | सीमित | मध्यम | उच्च (±0.01 मिमी संभव) |
तकनीकी निर्देश
पैरामीटर | कीमत |
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सामग्री | उच्च शुद्धता वाला एल्युमिना (≥ 99.5%) |
कार्य तापमान | 1600°C तक |
सतह खुरदरापन | Ra ≤ 0.2 µm (वैकल्पिक) |
संगत वेफर आकार | 2" से 12" या कस्टम |
समतलता सहनशीलता | ±0.01 मिमी (अनुप्रयोग पर निर्भर) |
वैक्यूम सक्शन सपोर्ट | वैकल्पिक, अनुकूलन योग्य चैनल |
माउंटिंग विकल्प | बोल्ट-थ्रू, फ्लैंज, स्लॉटेड छेद |
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न (FAQ)
प्रश्न 1: क्या अंतिम प्रभावक को मौजूदा रोबोटिक प्रणालियों में एकीकृत किया जा सकता है?
ए1:हाँ। हम आपके रोबोटिक इंटरफ़ेस के आधार पर अनुकूलन का समर्थन करते हैं। सटीक अनुकूलन के लिए आप हमें CAD ड्राइंग या फ़्लैंज आयाम भेज सकते हैं।
प्रश्न 2: क्या सिरेमिक आर्म्स उपयोग के दौरान आसानी से टूट जाएंगे?
ए2:यद्यपि सिरेमिक स्वाभाविक रूप से भंगुर होता है, फिर भी हमारे डिज़ाइन तनाव सांद्रता को न्यूनतम रखने के लिए अनुकूलित ज्यामिति का उपयोग करते हैं। उचित उपयोग की परिस्थितियों में, ये धातु या प्लास्टिक की तुलना में काफ़ी लंबी सेवा जीवन प्रदान करते हैं।
प्रश्न 3: क्या इसका उपयोग अल्ट्रा-हाई वैक्यूम या प्लाज्मा एचिंग कक्षों में करना संभव है?
ए3:हाँ। एल्युमिना सिरेमिक गैस उत्सर्जन रहित, तापीय रूप से स्थिर और संक्षारण प्रतिरोधी है - जो उच्च-वैक्यूम, प्रतिक्रियाशील गैस या प्लाज्मा वातावरण के लिए बिल्कुल उपयुक्त है।
प्रश्न 4: इन घटकों की सफाई या रखरखाव कैसे किया जाता है?
ए4:इन्हें डीआई पानी, अल्कोहल या क्लीनरूम-संगत डिटर्जेंट से साफ़ किया जा सकता है। इनकी रासायनिक स्थिरता और निष्क्रिय सतह के कारण किसी विशेष रखरखाव की आवश्यकता नहीं होती है।
हमारे बारे में
XKH विशेष ऑप्टिकल ग्लास और नई क्रिस्टल सामग्रियों के उच्च-तकनीकी विकास, उत्पादन और बिक्री में विशेषज्ञता रखता है। हमारे उत्पाद ऑप्टिकल इलेक्ट्रॉनिक्स, उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स और सैन्य क्षेत्र में उपयोग किए जाते हैं। हम सैफायर ऑप्टिकल कंपोनेंट्स, मोबाइल फ़ोन लेंस कवर, सिरेमिक, LT, सिलिकॉन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज़ और सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वेफ़र्स प्रदान करते हैं। कुशल विशेषज्ञता और अत्याधुनिक उपकरणों के साथ, हम गैर-मानक उत्पाद प्रसंस्करण में उत्कृष्टता प्राप्त करते हैं, और एक अग्रणी ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक सामग्री उच्च-तकनीकी उद्यम बनने का लक्ष्य रखते हैं।
