LiTaO3 वेफर 2इंच-8इंच 10x10x0.5 मिमी 1sp 2sp 5G/6G संचार के लिए
तकनीकी मापदंड
| नाम | ऑप्टिकल-ग्रेड LiTaO3 | ध्वनि तालिका स्तर LiTaO3 |
| AXIAL | Z कट + / - 0.2 ° | 36 ° Y कट / 42 ° Y कट / X कट (+ / - 0.2 डिग्री) |
| व्यास | 76.2मिमी + / - 0.3मिमी/ 100±0.2मिमी | 76.2मिमी + /-0.3मिमी 100मिमी + /-0.3मिमी या 150±0.5मिमी |
| डेटाम प्लेन | 22मिमी + / - 2मिमी | 22मिमी + /-2मिमी 32मिमी + /-2मिमी |
| मोटाई | 500um + /-5मिमी 1000um + /-5मिमी | 500um + /-20मिमी 350um + /-20मिमी |
| टीटीवी | ≤ 10um | ≤ 10um |
| क्यूरी तापमान | 605 °C + / - 0.7 °C (डीटीए विधि) | 605 °C + / -3 °C(DTAविधि |
| सतही गुणवत्ता | दो तरफा पॉलिशिंग | दो तरफा पॉलिशिंग |
| चम्फर्ड किनारे | किनारा गोलाई | किनारा गोलाई |
मुख्य विशेषताएं
1.इलेक्ट्रिकल और ऑप्टिकल प्रदर्शन
· इलेक्ट्रो-ऑप्टिक गुणांक: r33 30 pm/V (X-कट) तक पहुंचता है, जो LiNbO3 से 1.5 गुना अधिक है, जिससे अल्ट्रा-वाइडबैंड इलेक्ट्रो-ऑप्टिक मॉड्यूलेशन (>40 GHz बैंडविड्थ) सक्षम होता है।
· व्यापक वर्णक्रमीय प्रतिक्रिया: संचरण रेंज 0.4-5.0 μm (8 मिमी मोटाई), पराबैंगनी अवशोषण सीमा 280 एनएम जितनी कम, यूवी लेजर और क्वांटम डॉट उपकरणों के लिए आदर्श।
· कम पायरोइलेक्ट्रिक गुणांक: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), जो उच्च तापमान वाले इन्फ्रारेड सेंसर में स्थिरता सुनिश्चित करता है।
2. तापीय और यांत्रिक गुण
· उच्च तापीय चालकता: 4.6 W/m·K (X-कट), क्वार्ट्ज की तुलना में चौगुनी, -200–500°C तापीय चक्रण को बनाए रखती है।
· कम तापीय विस्तार गुणांक: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), तापीय तनाव को कम करने के लिए सिलिकॉन पैकेजिंग के साथ संगत।
3. दोष नियंत्रण और प्रसंस्करण परिशुद्धता
· माइक्रोपाइप घनत्व: <0.1 cm⁻² (8-इंच वेफर्स), विस्थापन घनत्व <500 cm⁻² (KOH नक़्काशी के माध्यम से सत्यापित)।
· सतह की गुणवत्ता: सीएमपी-पॉलिश से Ra <0.5 एनएम, ईयूवी लिथोग्राफी-ग्रेड समतलता आवश्यकताओं को पूरा करना।
प्रमुख अनुप्रयोग
| डोमेन | अनुप्रयोग परिदृश्य | तकनीकी लाभ |
| ऑप्टिकल संचार | 100G/400G DWDM लेजर, सिलिकॉन फोटोनिक्स हाइब्रिड मॉड्यूल | LiTaO3 वेफर का व्यापक स्पेक्ट्रल संचरण और कम वेवगाइड हानि (α <0.1 dB/cm) C-बैंड विस्तार को सक्षम बनाता है। |
| 5G/6G संचार | SAW फ़िल्टर (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR फ़िल्टर | 42°Y-कट वेफर्स Kt² >15% प्राप्त करते हैं, जिससे कम प्रविष्टि हानि (<1.5 dB) और उच्च रोल-ऑफ (>30 dB) प्राप्त होता है। |
| क्वांटम टेक्नोलॉजीज | एकल-फोटॉन डिटेक्टर, पैरामीट्रिक डाउन-कन्वर्ज़न स्रोत | उच्च गैर रेखीय गुणांक (χ(2)=40 pm/V) और कम डार्क काउंट दर (<100 काउंट/सेकेंड) क्वांटम निष्ठा को बढ़ाते हैं। |
| औद्योगिक संवेदन | उच्च तापमान दबाव सेंसर, करंट ट्रांसफॉर्मर | LiTaO3 वेफर की पीजोइलेक्ट्रिक प्रतिक्रिया (g33 >20 mV/m) और उच्च तापमान सहिष्णुता (>400°C) चरम वातावरण के अनुकूल है। |
XKH सेवाएँ
1.कस्टम वेफर निर्माण
· आकार और कटिंग: X/Y/Z-कट, 42°Y-कट, और कस्टम कोणीय कट (±0.01° सहिष्णुता) के साथ 2-8-इंच वेफर्स।
· डोपिंग नियंत्रण: इलेक्ट्रो-ऑप्टिक गुणांक और थर्मल स्थिरता को अनुकूलित करने के लिए Czochralski विधि (सांद्रता रेंज 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) के माध्यम से Fe, Mg डोपिंग।
2.उन्नत प्रक्रिया प्रौद्योगिकियां
· आवधिक पोलिंग (पीपीएलटी): एलटीओआई वेफर्स के लिए स्मार्ट-कट प्रौद्योगिकी, ±10 एनएम डोमेन अवधि परिशुद्धता और अर्ध-चरण-मिलान (क्यूपीएम) आवृत्ति रूपांतरण प्राप्त करना।
· विषम एकीकरण: उच्च आवृत्ति SAW फिल्टर के लिए मोटाई नियंत्रण (300-600 एनएम) और 8.78 W/m·K तक तापीय चालकता के साथ Si-आधारित LiTaO3 समग्र वेफर्स (POI)।
3.गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली
· एंड-टू-एंड परीक्षण: रमन स्पेक्ट्रोस्कोपी (पॉलीटाइप सत्यापन), एक्सआरडी (क्रिस्टलीयता), एएफएम (सतह आकारिकी), और ऑप्टिकल एकरूपता परीक्षण (Δn <5×10⁻⁵)।
4. वैश्विक आपूर्ति श्रृंखला समर्थन
· उत्पादन क्षमता: मासिक उत्पादन > 5,000 वेफर्स (8-इंच: 70%), 48 घंटे की आपातकालीन डिलीवरी के साथ।
· लॉजिस्टिक्स नेटवर्क: तापमान नियंत्रित पैकेजिंग के साथ हवाई/समुद्री माल ढुलाई के माध्यम से यूरोप, उत्तरी अमेरिका और एशिया-प्रशांत क्षेत्र में कवरेज।
