माइक्रोजेट लेजर प्रौद्योगिकी उपकरण वेफर काटने SiC सामग्री प्रसंस्करण

संक्षिप्त वर्णन:

माइक्रोजेट लेजर प्रौद्योगिकी उपकरण एक प्रकार की सटीक मशीनिंग प्रणाली है जो उच्च ऊर्जा लेजर और माइक्रोन-स्तर तरल जेट को जोड़ती है। लेजर बीम को उच्च गति वाले तरल जेट (विआयनीकृत पानी या विशेष तरल) से जोड़कर, उच्च परिशुद्धता और कम तापीय क्षति के साथ सामग्री प्रसंस्करण को साकार किया जा सकता है। यह तकनीक विशेष रूप से कठोर और भंगुर सामग्रियों (जैसे SiC, नीलम, कांच) की कटाई, ड्रिलिंग और माइक्रोस्ट्रक्चर प्रसंस्करण के लिए उपयुक्त है, और इसका व्यापक रूप से अर्धचालक, फोटोइलेक्ट्रिक डिस्प्ले, चिकित्सा उपकरणों और अन्य क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है।


उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

काम के सिद्धांत:

1. लेजर युग्मन: स्पंदित लेजर (यूवी/हरा/अवरक्त) को स्थिर ऊर्जा संचरण चैनल बनाने के लिए तरल जेट के अंदर केंद्रित किया जाता है।

2. तरल मार्गदर्शन: उच्च गति जेट (प्रवाह दर 50-200 मीटर/सेकेंड) प्रसंस्करण क्षेत्र को ठंडा करता है और गर्मी संचय और प्रदूषण से बचने के लिए मलबे को दूर करता है।

3. सामग्री हटाना: लेजर ऊर्जा सामग्री के ठंडे प्रसंस्करण (गर्मी प्रभावित क्षेत्र <1μm) को प्राप्त करने के लिए तरल में गुहिकायन प्रभाव का कारण बनती है।

4. गतिशील नियंत्रण: विभिन्न सामग्रियों और संरचनाओं की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए लेजर मापदंडों (शक्ति, आवृत्ति) और जेट दबाव का वास्तविक समय समायोजन।

मुख्य मापदंड:

1. लेजर पावर: 10-500W (समायोज्य)

2. जेट व्यास: 50-300μm

3. मशीनिंग सटीकता: ±0.5μm (काटना), गहराई से चौड़ाई अनुपात 10:1 (ड्रिलिंग)

चित्र 1

तकनीकी लाभ:

(1) लगभग शून्य ताप क्षति
- लिक्विड जेट कूलिंग ताप प्रभावित क्षेत्र (HAZ) को **<1μm** तक नियंत्रित करता है, जिससे पारंपरिक लेजर प्रसंस्करण के कारण होने वाली सूक्ष्म दरारें से बचा जा सकता है (HAZ आमतौर पर >10μm होता है)।

(2) अति उच्च परिशुद्धता मशीनिंग
- काटने/ड्रिलिंग सटीकता **±0.5μm** तक, किनारा खुरदरापन Ra<0.2μm, बाद में पॉलिश करने की आवश्यकता को कम करता है।

- जटिल 3D संरचना प्रसंस्करण का समर्थन (जैसे शंक्वाकार छेद, आकार वाले स्लॉट)।

(3) व्यापक सामग्री संगतता
- कठोर एवं भंगुर पदार्थ: SiC, नीलम, कांच, चीनी मिट्टी (पारंपरिक तरीकों से आसानी से टूट जाते हैं)।

- ताप संवेदनशील सामग्री: पॉलिमर, जैविक ऊतक (तापीय विकृतीकरण का कोई खतरा नहीं)।

(4) पर्यावरण संरक्षण और दक्षता
- कोई धूल प्रदूषण नहीं, तरल को पुनर्चक्रित और फ़िल्टर किया जा सकता है।

- प्रसंस्करण गति में 30%-50% की वृद्धि (मशीनिंग की तुलना में)।

(5) बुद्धिमान नियंत्रण
- एकीकृत दृश्य स्थिति और एआई पैरामीटर अनुकूलन, अनुकूली सामग्री मोटाई और दोष।

तकनीकी निर्देश:

काउंटरटॉप वॉल्यूम 300*300*150 400*400*200
रेखीय अक्ष XY रैखिक मोटर. रैखिक मोटर रैखिक मोटर. रैखिक मोटर
रेखीय अक्ष Z 150 200
स्थिति सटीकता μm +/-5 +/-5
दोहराई गई स्थिति सटीकता μm +/-2 +/-2
त्वरण जी 1 0.29
संख्यात्मक नियंत्रण 3 अक्ष /3+1 अक्ष /3+2 अक्ष 3 अक्ष /3+1 अक्ष /3+2 अक्ष
संख्यात्मक नियंत्रण प्रकार डीपीएसएस एनडी:वाईएजी डीपीएसएस एनडी:वाईएजी
तरंगदैर्घ्य एनएम 532/1064 532/1064
रेटेड शक्ति W 50/100/200 50/100/200
पानी प्रधार 40-100 40-100
नोजल प्रेशर बार 50-100 50-600
आयाम (मशीन टूल) (चौड़ाई * लंबाई * ऊंचाई) मिमी 1445*1944*2260 1700*1500*2120
आकार (नियंत्रण कैबिनेट) (चौड़ाई * लंबाई * ऊंचाई) 700*2500*1600 700*2500*1600
वजन (उपकरण) टी 2.5 3
वजन (नियंत्रण कैबिनेट) किलोग्राम 800 800
प्रसंस्करण क्षमता सतह खुरदरापन Ra≤1.6um

खुलने की गति ≥1.25मिमी/सेकेंड

परिधि काटना ≥6मिमी/सेकेंड

रैखिक काटने की गति ≥50mm/s

सतह खुरदरापन Ra≤1.2um

खुलने की गति ≥1.25मिमी/सेकेंड

परिधि काटना ≥6मिमी/सेकेंड

रैखिक काटने की गति ≥50mm/s

   

गैलियम नाइट्राइड क्रिस्टल, अल्ट्रा-वाइड बैंड गैप सेमीकंडक्टर सामग्री (डायमंड / गैलियम ऑक्साइड), एयरोस्पेस विशेष सामग्री, एलटीसीसी कार्बन सिरेमिक सब्सट्रेट, फोटोवोल्टिक, सिंटिलेटर क्रिस्टल और अन्य सामग्री प्रसंस्करण के लिए।

नोट: प्रसंस्करण क्षमता सामग्री की विशेषताओं के आधार पर भिन्न होती है

 

 

प्रसंस्करण मामला:

चित्र 2

XKH की सेवाएं:

XKH माइक्रोजेट लेजर प्रौद्योगिकी उपकरणों के लिए पूर्ण जीवन चक्र सेवा समर्थन की एक पूरी श्रृंखला प्रदान करता है, प्रारंभिक प्रक्रिया विकास और उपकरण चयन परामर्श से लेकर, मध्य-अवधि के अनुकूलित सिस्टम एकीकरण (लेजर स्रोत, जेट सिस्टम और स्वचालन मॉड्यूल के विशेष मिलान सहित), बाद के संचालन और रखरखाव प्रशिक्षण और निरंतर प्रक्रिया अनुकूलन तक, पूरी प्रक्रिया पेशेवर तकनीकी टीम के समर्थन से सुसज्जित है; 20 वर्षों के सटीक मशीनिंग अनुभव के आधार पर, हम सेमीकंडक्टर और मेडिकल जैसे विभिन्न उद्योगों के लिए उपकरण सत्यापन, बड़े पैमाने पर उत्पादन परिचय और बिक्री के बाद तेजी से प्रतिक्रिया (24 घंटे की तकनीकी सहायता + प्रमुख स्पेयर पार्ट्स रिजर्व) सहित वन-स्टॉप समाधान प्रदान कर सकते हैं, और 12 महीने की लंबी वारंटी और आजीवन रखरखाव और उन्नयन सेवा का वादा करते हैं। सुनिश्चित करें कि ग्राहक उपकरण हमेशा उद्योग-अग्रणी प्रसंस्करण प्रदर्शन और स्थिरता बनाए रखता है।

विस्तृत आरेख

माइक्रोजेट लेजर प्रौद्योगिकी उपकरण 3
माइक्रोजेट लेजर प्रौद्योगिकी उपकरण 5
माइक्रोजेट लेजर प्रौद्योगिकी उपकरण 6

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