माइक्रोजेट लेजर प्रौद्योगिकी उपकरण वेफर काटने SiC सामग्री प्रसंस्करण
काम के सिद्धांत:
1. लेजर युग्मन: स्पंदित लेजर (यूवी/हरा/अवरक्त) को स्थिर ऊर्जा संचरण चैनल बनाने के लिए तरल जेट के अंदर केंद्रित किया जाता है।
2. तरल मार्गदर्शन: उच्च गति जेट (प्रवाह दर 50-200 मीटर/सेकेंड) प्रसंस्करण क्षेत्र को ठंडा करता है और गर्मी संचय और प्रदूषण से बचने के लिए मलबे को दूर करता है।
3. सामग्री हटाना: लेजर ऊर्जा सामग्री के ठंडे प्रसंस्करण (गर्मी प्रभावित क्षेत्र <1μm) को प्राप्त करने के लिए तरल में गुहिकायन प्रभाव का कारण बनती है।
4. गतिशील नियंत्रण: विभिन्न सामग्रियों और संरचनाओं की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए लेजर मापदंडों (शक्ति, आवृत्ति) और जेट दबाव का वास्तविक समय समायोजन।
मुख्य मापदंड:
1. लेजर पावर: 10-500W (समायोज्य)
2. जेट व्यास: 50-300μm
3. मशीनिंग सटीकता: ±0.5μm (काटना), गहराई से चौड़ाई अनुपात 10:1 (ड्रिलिंग)

तकनीकी लाभ:
(1) लगभग शून्य ताप क्षति
- लिक्विड जेट कूलिंग ताप प्रभावित क्षेत्र (HAZ) को **<1μm** तक नियंत्रित करता है, जिससे पारंपरिक लेजर प्रसंस्करण के कारण होने वाली सूक्ष्म दरारें से बचा जा सकता है (HAZ आमतौर पर >10μm होता है)।
(2) अति उच्च परिशुद्धता मशीनिंग
- काटने/ड्रिलिंग सटीकता **±0.5μm** तक, किनारा खुरदरापन Ra<0.2μm, बाद में पॉलिश करने की आवश्यकता को कम करता है।
- जटिल 3D संरचना प्रसंस्करण का समर्थन (जैसे शंक्वाकार छेद, आकार वाले स्लॉट)।
(3) व्यापक सामग्री संगतता
- कठोर एवं भंगुर पदार्थ: SiC, नीलम, कांच, चीनी मिट्टी (पारंपरिक तरीकों से आसानी से टूट जाते हैं)।
- ताप संवेदनशील सामग्री: पॉलिमर, जैविक ऊतक (तापीय विकृतीकरण का कोई खतरा नहीं)।
(4) पर्यावरण संरक्षण और दक्षता
- कोई धूल प्रदूषण नहीं, तरल को पुनर्चक्रित और फ़िल्टर किया जा सकता है।
- प्रसंस्करण गति में 30%-50% की वृद्धि (मशीनिंग की तुलना में)।
(5) बुद्धिमान नियंत्रण
- एकीकृत दृश्य स्थिति और एआई पैरामीटर अनुकूलन, अनुकूली सामग्री मोटाई और दोष।
तकनीकी निर्देश:
काउंटरटॉप वॉल्यूम | 300*300*150 | 400*400*200 |
रेखीय अक्ष XY | रैखिक मोटर. रैखिक मोटर | रैखिक मोटर. रैखिक मोटर |
रेखीय अक्ष Z | 150 | 200 |
स्थिति सटीकता μm | +/-5 | +/-5 |
दोहराई गई स्थिति सटीकता μm | +/-2 | +/-2 |
त्वरण जी | 1 | 0.29 |
संख्यात्मक नियंत्रण | 3 अक्ष /3+1 अक्ष /3+2 अक्ष | 3 अक्ष /3+1 अक्ष /3+2 अक्ष |
संख्यात्मक नियंत्रण प्रकार | डीपीएसएस एनडी:वाईएजी | डीपीएसएस एनडी:वाईएजी |
तरंगदैर्घ्य एनएम | 532/1064 | 532/1064 |
रेटेड शक्ति W | 50/100/200 | 50/100/200 |
पानी प्रधार | 40-100 | 40-100 |
नोजल प्रेशर बार | 50-100 | 50-600 |
आयाम (मशीन टूल) (चौड़ाई * लंबाई * ऊंचाई) मिमी | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
आकार (नियंत्रण कैबिनेट) (चौड़ाई * लंबाई * ऊंचाई) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
वजन (उपकरण) टी | 2.5 | 3 |
वजन (नियंत्रण कैबिनेट) किलोग्राम | 800 | 800 |
प्रसंस्करण क्षमता | सतह खुरदरापन Ra≤1.6um खुलने की गति ≥1.25मिमी/सेकेंड परिधि काटना ≥6मिमी/सेकेंड रैखिक काटने की गति ≥50mm/s | सतह खुरदरापन Ra≤1.2um खुलने की गति ≥1.25मिमी/सेकेंड परिधि काटना ≥6मिमी/सेकेंड रैखिक काटने की गति ≥50mm/s |
गैलियम नाइट्राइड क्रिस्टल, अल्ट्रा-वाइड बैंड गैप सेमीकंडक्टर सामग्री (डायमंड / गैलियम ऑक्साइड), एयरोस्पेस विशेष सामग्री, एलटीसीसी कार्बन सिरेमिक सब्सट्रेट, फोटोवोल्टिक, सिंटिलेटर क्रिस्टल और अन्य सामग्री प्रसंस्करण के लिए। नोट: प्रसंस्करण क्षमता सामग्री की विशेषताओं के आधार पर भिन्न होती है
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प्रसंस्करण मामला:

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