Si कम्पोजिट सबस्ट्रेट्स Dia6इंच पर N-टाइप SiC
| 等级श्रेणी | यू 级 | पी 级 | डी级 |
| निम्न बीपीडी ग्रेड | उत्पादन ग्रेड | डमी ग्रेड | |
| 直径व्यास | 150.0 मिमी±0.25 मिमी | ||
| 厚度मोटाई | 500μm±25μm | ||
| 晶片方向वेफर ओरिएंटेशन | ऑफ एक्सिस: 4.0° की ओर <11-20 > ±0.5° 4H-N के लिए अक्ष पर: <0001>±0.5° 4H-SI के लिए | ||
| यह एक अच्छा विकल्प हैप्राथमिक फ्लैट | {10-10}±5.0° | ||
| यह एक अच्छा विकल्प हैप्राथमिक समतल लंबाई | 47.5 मिमी±2.5 मिमी | ||
| 边缘किनारे का बहिष्कार | 3 मिमी | ||
| 总厚度变化/弯曲度/翘曲度 टीटीवी/धनुष/ताना | ≤15μm /≤40μm /≤60μm | ||
| 微管密度和基面位错एमपीडी और बीपीडी | एमपीडी≤1 सेमी-2 | एमपीडी≤5 सेमी-2 | एमपीडी≤15 सेमी-2 |
| BPD≤1000cm-2 | |||
| 电阻率प्रतिरोधकता | ≥1E5 Ω·सेमी | ||
| 表面粗糙度बेअदबी | पोलिश Ra≤1 एनएम | ||
| सीएमपी Ra≤0.5 एनएम | |||
| 裂纹(强光灯观测) # | कोई नहीं | संचयी लंबाई≤10मिमी, एकल लंबाई≤2मिमी | |
| उच्च तीव्रता वाले प्रकाश से दरारें | |||
| 六方空洞(强光灯观测)* | संचयी क्षेत्र ≤1% | संचयी क्षेत्रफल ≤5% | |
| उच्च तीव्रता प्रकाश द्वारा हेक्स प्लेटें | |||
| 多型(强光灯观测)* | कोई नहीं | संचयी क्षेत्रफल≤5% | |
| उच्च तीव्रता वाले प्रकाश द्वारा पॉलीटाइप क्षेत्र | |||
| 划痕(强光灯观测)*& | 1×वेफर व्यास तक 3 खरोंचें | 1×वेफर व्यास तक 5 खरोंचें | |
| उच्च तीव्रता वाले प्रकाश से खरोंचें | संचयी लंबाई | संचयी लंबाई | |
| 崩边# एज चिप | कोई नहीं | 5 की अनुमति है, ≤1 मिमी प्रत्येक | |
| 表面污染物（强光灯观测） | कोई नहीं | ||
| उच्च तीव्रता वाले प्रकाश द्वारा संदूषण | |||
विस्तृत आरेख
