SiC सिरेमिक चक ट्रे सिरेमिक सक्शन कप परिशुद्धता मशीनिंग अनुकूलित
सामग्री विशेषताएँ:
1. उच्च कठोरता: सिलिकॉन कार्बाइड की मोहस कठोरता 9.2-9.5 है, जो हीरे के बाद दूसरे स्थान पर है, और इसमें मजबूत पहनने का प्रतिरोध है।
2. उच्च तापीय चालकता: सिलिकॉन कार्बाइड की तापीय चालकता 120-200 W/m·K जितनी अधिक होती है, जो गर्मी को जल्दी से नष्ट कर सकती है और उच्च तापमान वातावरण के लिए उपयुक्त है।
3. कम तापीय विस्तार गुणांक: सिलिकॉन कार्बाइड तापीय विस्तार गुणांक कम है (4.0-4.5 × 10⁻⁶ / के), अभी भी उच्च तापमान पर आयामी स्थिरता बनाए रख सकता है।
4. रासायनिक स्थिरता: सिलिकॉन कार्बाइड एसिड और क्षार संक्षारण प्रतिरोध, रासायनिक संक्षारक वातावरण में उपयोग के लिए उपयुक्त।
5. उच्च यांत्रिक शक्ति: सिलिकॉन कार्बाइड में उच्च झुकने की शक्ति और संपीड़न शक्ति होती है, और यह बड़े यांत्रिक तनाव का सामना कर सकता है।
विशेषताएँ:
1.अर्धचालक उद्योग में, अत्यंत पतले वेफर्स को वैक्यूम सक्शन कप पर रखने की आवश्यकता होती है, वैक्यूम सक्शन का उपयोग वेफर्स को ठीक करने के लिए किया जाता है, और वेफर्स पर वैक्सिंग, थिनिंग, वैक्सिंग, सफाई और काटने की प्रक्रिया की जाती है।
2. सिलिकॉन कार्बाइड चूसने वाला अच्छा थर्मल चालकता है, प्रभावी ढंग से वैक्सिंग और वैक्सिंग समय को छोटा कर सकता है, उत्पादन दक्षता में सुधार कर सकता है।
3.सिलिकॉन कार्बाइड वैक्यूम चूसने वाला भी अच्छा एसिड और क्षार संक्षारण प्रतिरोध है।
4. पारंपरिक कोरन्डम वाहक प्लेट की तुलना में, लोडिंग और अनलोडिंग हीटिंग और कूलिंग समय को छोटा करें, कार्य कुशलता में सुधार करें; साथ ही, यह ऊपरी और निचले प्लेटों के बीच पहनने को कम कर सकता है, अच्छी विमान सटीकता बनाए रख सकता है, और सेवा जीवन को लगभग 40% तक बढ़ा सकता है।
5. सामग्री का अनुपात छोटा और हल्का होता है। इससे ऑपरेटरों के लिए पैलेट ले जाना आसान हो जाता है, जिससे परिवहन संबंधी कठिनाइयों के कारण होने वाले टकराव के जोखिम में लगभग 20% की कमी आती है।
6. आकार: अधिकतम व्यास 640 मिमी; समतलता: 3um या उससे कम
आवेदन क्षेत्र:
1. अर्धचालक विनिर्माण
●वेफर प्रसंस्करण:
फोटोलिथोग्राफी, एचिंग, पतली फिल्म जमाव और अन्य प्रक्रियाओं में वेफर फिक्सेशन के लिए, उच्च सटीकता और प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करता है। इसका उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोध कठोर अर्धचालक निर्माण वातावरण के लिए उपयुक्त है।
●एपिटैक्सियल वृद्धि:
SiC या GaN एपीटैक्सियल वृद्धि में, वेफर्स को गर्म करने और स्थिर करने के लिए एक वाहक के रूप में, उच्च तापमान पर तापमान की एकरूपता और क्रिस्टल गुणवत्ता सुनिश्चित करना, उपकरण के प्रदर्शन में सुधार करना।
2. फोटोइलेक्ट्रिक उपकरण
●एलईडी विनिर्माण:
नीलमणि या SiC सब्सट्रेट को ठीक करने के लिए और MOCVD प्रक्रिया में हीटिंग वाहक के रूप में, एपिटैक्सियल विकास की एकरूपता सुनिश्चित करने, एलईडी चमकदार दक्षता और गुणवत्ता में सुधार करने के लिए उपयोग किया जाता है।
●लेजर डायोड:
एक उच्च परिशुद्धता स्थिरता के रूप में, प्रक्रिया तापमान स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए सब्सट्रेट को फिक्सिंग और हीटिंग करना, लेजर डायोड की आउटपुट शक्ति और विश्वसनीयता में सुधार करना।
3. सटीक मशीनिंग
●ऑप्टिकल घटक प्रसंस्करण:
इसका उपयोग प्रसंस्करण के दौरान उच्च परिशुद्धता और कम प्रदूषण सुनिश्चित करने के लिए ऑप्टिकल लेंस और फिल्टर जैसे परिशुद्धता घटकों को ठीक करने के लिए किया जाता है, और यह उच्च तीव्रता मशीनिंग के लिए उपयुक्त है।
●सिरेमिक प्रसंस्करण:
एक उच्च स्थिरता स्थिरता के रूप में, यह उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण के तहत मशीनिंग सटीकता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए सिरेमिक सामग्री की सटीक मशीनिंग के लिए उपयुक्त है।
4. वैज्ञानिक प्रयोग
●उच्च तापमान प्रयोग:
उच्च तापमान वाले वातावरण में नमूना निर्धारण उपकरण के रूप में, यह तापमान की एकरूपता और नमूना स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए 1600°C से ऊपर के चरम तापमान प्रयोगों का समर्थन करता है।
●वैक्यूम परीक्षण:
वैक्यूम वातावरण में नमूना फिक्सिंग और हीटिंग वाहक के रूप में, प्रयोग की सटीकता और दोहराव सुनिश्चित करने के लिए, वैक्यूम कोटिंग और गर्मी उपचार के लिए उपयुक्त।
तकनीकी निर्देश:
| (भौतिक संपत्ति) | (इकाई) | (एसएसआईसी) | |
| (SiC सामग्री) |
| (वजन)% | >99 |
| (औसत अनाज का आकार) |
| माइक्रोन | 4-10 |
| (घनत्व) |
| किग्रा/डीएम3 | >3.14 |
| (स्पष्ट सरंध्रता) |
| वीओ1% | <0.5 |
| (विकर्स कठोरता) | एचवी 0.5 | जीपीए | 28 |
| *( आनमनी सार्मथ्य) | 20º सेल्सियस | एमपीए | 450 |
| (सम्पीडक क्षमता) | 20º सेल्सियस | एमपीए | 3900 |
| (प्रत्यास्थ मापांक) | 20º सेल्सियस | जीपीए | 420 |
| (अस्थिभंग बेरहमी) |
| एमपीए/एम'% | 3.5 |
| (ऊष्मीय चालकता) | 20°º सेल्सियस | डब्ल्यू/(एम*के) | 160 |
| (प्रतिरोधकता) | 20°º सेल्सियस | ओम.सेमी | 106-108 |
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| a(RT**...80ºC) | के-1*10-6 | 4.3 |
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| ओºसी | 1700 |
वर्षों के तकनीकी संचय और उद्योग के अनुभव के साथ, XKH ग्राहकों की विशिष्ट आवश्यकताओं के अनुसार चक के आकार, तापन विधि और निर्वात अवशोषण डिज़ाइन जैसे प्रमुख मापदंडों को अनुकूलित करने में सक्षम है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि उत्पाद ग्राहक की प्रक्रिया के लिए पूरी तरह से अनुकूलित है। SiC सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक चक अपनी उत्कृष्ट तापीय चालकता, उच्च तापमान स्थिरता और रासायनिक स्थिरता के कारण वेफर प्रसंस्करण, उपकला वृद्धि और अन्य प्रमुख प्रक्रियाओं में अपरिहार्य घटक बन गए हैं। विशेष रूप से SiC और GaN जैसी तीसरी पीढ़ी के अर्धचालक पदार्थों के निर्माण में, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक चक की मांग लगातार बढ़ रही है। भविष्य में, 5G, इलेक्ट्रिक वाहन, कृत्रिम बुद्धिमत्ता और अन्य तकनीकों के तेजी से विकास के साथ, अर्धचालक उद्योग में सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक चक की अनुप्रयोग संभावनाएँ व्यापक होंगी।
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