SiC सिरेमिक फोर्क आर्म / एंड इफ़ेक्टर - सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए उन्नत परिशुद्धता हैंडलिंग

संक्षिप्त वर्णन:

SiC सिरेमिक फोर्क आर्म, जिसे अक्सर सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर कहा जाता है, एक उच्च-प्रदर्शन वाला सटीक हैंडलिंग घटक है जिसे विशेष रूप से उच्च-तकनीकी उद्योगों, विशेष रूप से सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उत्पादन में वेफर परिवहन, संरेखण और स्थिति निर्धारण के लिए विकसित किया गया है। उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक से निर्मित, यह घटक असाधारण यांत्रिक शक्ति, अति-निम्न तापीय विस्तार और तापीय आघात व संक्षारण के प्रति उत्कृष्ट प्रतिरोध को जोड़ता है।

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विशेषताएँ

विस्तृत आरेख

उत्पाद अवलोकन

एल्युमीनियम, स्टेनलेस स्टील या क्वार्ट्ज़ से बने पारंपरिक एंड इफ़ेक्टर्स के विपरीत, SiC सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर्स वैक्यूम चैंबर्स, क्लीनरूम और कठोर प्रसंस्करण वातावरण में बेजोड़ प्रदर्शन प्रदान करते हैं, जिससे वे अगली पीढ़ी के वेफ़र हैंडलिंग रोबोट्स का एक महत्वपूर्ण हिस्सा बन जाते हैं। चिप निर्माण में संदूषण-मुक्त उत्पादन और सख्त सहनशीलता की बढ़ती माँग के साथ, सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर्स का उपयोग तेज़ी से उद्योग मानक बनता जा रहा है।

विनिर्माण सिद्धांत

का निर्माणSiC सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर्सइसमें उच्च-परिशुद्धता, उच्च-शुद्धता प्रक्रियाओं की एक श्रृंखला शामिल है जो प्रदर्शन और स्थायित्व दोनों सुनिश्चित करती है। आमतौर पर दो मुख्य प्रक्रियाओं का उपयोग किया जाता है:

प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड (RB-SiC)

इस प्रक्रिया में, सिलिकॉन कार्बाइड पाउडर और बाइंडर से बने एक प्रीफॉर्म में उच्च तापमान (~1500°C) पर पिघले हुए सिलिकॉन को डाला जाता है, जो अवशिष्ट कार्बन के साथ अभिक्रिया करके एक सघन, कठोर SiC-Si मिश्रण बनाता है। यह विधि उत्कृष्ट आयामी नियंत्रण प्रदान करती है और बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए लागत-प्रभावी है।

दबाव रहित सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC)

SSiC को अति-सूक्ष्म, उच्च-शुद्ध SiC पाउडर को अत्यधिक उच्च तापमान (>2000°C) पर बिना किसी योजक या बंधन चरण के सिंटरिंग करके बनाया जाता है। इसके परिणामस्वरूप लगभग 100% घनत्व वाला उत्पाद प्राप्त होता है और SiC पदार्थों में उपलब्ध उच्चतम यांत्रिक और तापीय गुण होते हैं। यह अति-महत्वपूर्ण वेफर हैंडलिंग अनुप्रयोगों के लिए आदर्श है।

प्रोसेसिंग के बाद

परिशुद्धता सीएनसी मशीनिंग: उच्च समतलता और समानांतरता प्राप्त करता है।
सतह परिष्करण: डायमंड पॉलिशिंग सतह खुरदरापन को <0.02 µm तक कम कर देती है।
निरीक्षणप्रत्येक टुकड़े को सत्यापित करने के लिए ऑप्टिकल इंटरफेरोमेट्री, सीएमएम और गैर-विनाशकारी परीक्षण का उपयोग किया जाता है।

ये कदम इस बात की गारंटी देते हैं किSiC अंत प्रभावकनिरंतर वेफर प्लेसमेंट सटीकता, उत्कृष्ट समतलता और न्यूनतम कण उत्पादन प्रदान करता है।

मुख्य विशेषताएं और लाभ

विशेषता	विवरण
अति-उच्च कठोरता	विकर्स कठोरता > 2500 एच.वी., घिसाव और टूटने का प्रतिरोध।
कम तापीय विस्तार	सीटीई ~4.5×10⁻⁶/के, थर्मल साइकलिंग में आयामी स्थिरता को सक्षम करता है।
रासायनिक जड़ता	एचएफ, एचसीएल, प्लाज्मा गैसों और अन्य संक्षारक एजेंटों के प्रति प्रतिरोधी।
उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध	वैक्यूम और भट्ठी प्रणालियों में तेजी से हीटिंग/कूलिंग के लिए उपयुक्त।
उच्च कठोरता और शक्ति	विक्षेपण के बिना लंबे ब्रैकट कांटा भुजाओं का समर्थन करता है।
कम गैस उत्सर्जन	अति-उच्च निर्वात (UHV) वातावरण के लिए आदर्श।
आईएसओ क्लास 1 क्लीनरूम रेडी	कण-रहित संचालन वेफर अखंडता सुनिश्चित करता है।

अनुप्रयोग

SiC सिरेमिक फोर्क आर्म / एंड इफ़ेक्टर का व्यापक रूप से उन उद्योगों में उपयोग किया जाता है जहाँ अत्यधिक परिशुद्धता, स्वच्छता और रासायनिक प्रतिरोध की आवश्यकता होती है। प्रमुख अनुप्रयोग परिदृश्यों में शामिल हैं:

अर्धचालक विनिर्माण

जमाव (सीवीडी, पीवीडी), नक़्क़ाशी (आरआईई, डीआरआईई), और सफाई प्रणालियों में वेफर लोडिंग/अनलोडिंग।
एफओयूपी, कैसेट और प्रक्रिया उपकरणों के बीच रोबोटिक वेफर परिवहन।
थर्मल प्रसंस्करण या एनीलिंग के दौरान उच्च तापमान हैंडलिंग।

फोटोवोल्टिक सेल उत्पादन

स्वचालित लाइनों में नाजुक सिलिकॉन वेफर्स या सौर सब्सट्रेट्स का नाजुक परिवहन।

फ्लैट पैनल डिस्प्ले (FPD) उद्योग

OLED/LCD उत्पादन वातावरण में बड़े ग्लास पैनल या सबस्ट्रेट्स को स्थानांतरित करना।

यौगिक अर्धचालक / MEMS

GaN, SiC, और MEMS निर्माण लाइनों में उपयोग किया जाता है जहां संदूषण नियंत्रण और स्थिति सटीकता महत्वपूर्ण होती है।

संवेदनशील परिचालनों के दौरान दोष-रहित, स्थिर संचालन सुनिश्चित करने में इसकी अंतिम प्रभावकारी भूमिका विशेष रूप से महत्वपूर्ण है।

अनुकूलन क्षमताएं

हम विभिन्न उपकरण और प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए व्यापक अनुकूलन प्रदान करते हैं:

कांटा डिजाइन: दो-आयामी, बहु-उंगली, या विभाजित-स्तरीय लेआउट।
वेफर आकार संगतता: 2” से 12” वेफर्स तक।
माउंटिंग इंटरफेस: OEM रोबोटिक भुजाओं के साथ संगत।
मोटाई और सतह सहनशीलता: माइक्रोन-स्तर की समतलता और किनारे की गोलाई उपलब्ध है।
फिसलन-रोधी विशेषताएं: सुरक्षित वेफर पकड़ के लिए वैकल्पिक सतह बनावट या कोटिंग्स।

प्रत्येकसिरेमिक अंत प्रभावकन्यूनतम टूलींग परिवर्तनों के साथ सटीक फिटमेंट सुनिश्चित करने के लिए इसे ग्राहकों के साथ मिलकर डिजाइन किया गया है।

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न (FAQ)

प्रश्न 1: अंतिम प्रभावक अनुप्रयोग के लिए SiC क्वार्ट्ज से बेहतर कैसे है?
ए1:यद्यपि क्वार्ट्ज़ का उपयोग आमतौर पर इसकी शुद्धता के लिए किया जाता है, इसमें यांत्रिक दृढ़ता का अभाव होता है और भार या तापमान के आघात से टूटने का खतरा बना रहता है। SiC बेहतर शक्ति, घिसाव प्रतिरोधकता और तापीय स्थिरता प्रदान करता है, जिससे डाउनटाइम और वेफर क्षति का जोखिम काफी कम हो जाता है।

प्रश्न 2: क्या यह सिरेमिक फोर्क आर्म सभी रोबोटिक वेफर हैंडलर्स के साथ संगत है?
ए2:हां, हमारे सिरेमिक एंड इफेक्टर्स अधिकांश प्रमुख वेफर हैंडलिंग प्रणालियों के साथ संगत हैं और सटीक इंजीनियरिंग चित्रों के साथ आपके विशिष्ट रोबोटिक मॉडल के लिए अनुकूलित किए जा सकते हैं।

प्रश्न 3: क्या यह 300 मिमी वेफर्स को बिना विकृत हुए संभाल सकता है?
ए3:बिल्कुल। SiC की उच्च कठोरता पतली, लंबी फोर्क आर्म्स को भी गति के दौरान बिना झुके या विक्षेपित हुए 300 मिमी वेफर्स को सुरक्षित रूप से पकड़ने की अनुमति देती है।

प्रश्न 4: SiC सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर का सामान्य सेवा जीवन क्या है?
ए4:उचित उपयोग के साथ, SiC एंड इफ़ेक्टर पारंपरिक क्वार्ट्ज़ या एल्युमीनियम मॉडल की तुलना में 5 से 10 गुना अधिक समय तक चल सकता है, जिसका कारण है तापीय और यांत्रिक तनाव के प्रति इसका उत्कृष्ट प्रतिरोध।

प्रश्न 5: क्या आप प्रतिस्थापन या तीव्र प्रोटोटाइप सेवाएं प्रदान करते हैं?
ए5:हां, हम तीव्र नमूना उत्पादन का समर्थन करते हैं और मौजूदा उपकरणों से सीएडी चित्रों या रिवर्स-इंजीनियर्ड भागों के आधार पर प्रतिस्थापन सेवाएं प्रदान करते हैं।

हमारे बारे में

XKH विशेष ऑप्टिकल ग्लास और नई क्रिस्टल सामग्रियों के उच्च-तकनीकी विकास, उत्पादन और बिक्री में विशेषज्ञता रखता है। हमारे उत्पाद ऑप्टिकल इलेक्ट्रॉनिक्स, उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स और सैन्य क्षेत्र में उपयोग किए जाते हैं। हम सैफायर ऑप्टिकल कंपोनेंट्स, मोबाइल फ़ोन लेंस कवर, सिरेमिक, LT, सिलिकॉन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज़ और सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वेफ़र्स प्रदान करते हैं। कुशल विशेषज्ञता और अत्याधुनिक उपकरणों के साथ, हम गैर-मानक उत्पाद प्रसंस्करण में उत्कृष्टता प्राप्त करते हैं, और एक अग्रणी ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक सामग्री उच्च-तकनीकी उद्यम बनने का लक्ष्य रखते हैं।