ICP के लिए 4 इंच 6 इंच वेफर धारक के लिए SiC सिरेमिक प्लेट / ट्रे
SiC सिरेमिक प्लेट सार
SiC सिरेमिक प्लेट उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड से बना एक उच्च प्रदर्शन वाला घटक है, जिसे अत्यधिक तापीय, रासायनिक और यांत्रिक वातावरण में उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गया है। अपनी असाधारण कठोरता, तापीय चालकता और संक्षारण प्रतिरोध के लिए प्रसिद्ध, SiC प्लेट का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर, LED, फोटोवोल्टिक और एयरोस्पेस उद्योगों में वेफर कैरियर, ससेप्टर या संरचनात्मक घटक के रूप में उपयोग किया जाता है।
1600 डिग्री सेल्सियस तक की उत्कृष्ट तापीय स्थिरता और प्रतिक्रियाशील गैसों और प्लाज्मा वातावरण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध के साथ, SiC प्लेट उच्च तापमान नक़्क़ाशी, जमाव और प्रसार प्रक्रियाओं के दौरान लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करती है। इसकी सघन, गैर-छिद्रपूर्ण सूक्ष्म संरचना कण उत्पादन को कम करती है, जिससे यह वैक्यूम या क्लीनरूम सेटिंग में अल्ट्रा-क्लीन अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बन जाती है।
SiC सिरेमिक प्लेट अनुप्रयोग
1. सेमीकंडक्टर विनिर्माण
SiC सिरेमिक प्लेट्स का उपयोग आमतौर पर सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन उपकरण जैसे CVD (केमिकल वेपर डिपोजिशन), PVD (फिजिकल वेपर डिपोजिशन) और नक़्काशी प्रणालियों में वेफर कैरियर, ससेप्टर और पेडेस्टल प्लेट के रूप में किया जाता है। उनकी उत्कृष्ट तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार उन्हें समान तापमान वितरण बनाए रखने की अनुमति देता है, जो उच्च परिशुद्धता वाले वेफर प्रसंस्करण के लिए महत्वपूर्ण है। संक्षारक गैसों और प्लाज़्मा के लिए SiC का प्रतिरोध कठोर वातावरण में स्थायित्व सुनिश्चित करता है, जिससे कण संदूषण और उपकरण रखरखाव को कम करने में मदद मिलती है।
2. एलईडी उद्योग – आईसीपी एचिंग
एलईडी विनिर्माण क्षेत्र में, SiC प्लेटें ICP (इंडक्टिवली कपल्ड प्लाज़्मा) नक़्काशी प्रणालियों में मुख्य घटक हैं। वेफ़र होल्डर के रूप में कार्य करते हुए, वे प्लाज़्मा प्रसंस्करण के दौरान नीलम या GaN वेफ़र्स को सहारा देने के लिए एक स्थिर और ऊष्मीय रूप से मज़बूत प्लेटफ़ॉर्म प्रदान करते हैं। उनका उत्कृष्ट प्लाज़्मा प्रतिरोध, सतह समतलता और आयामी स्थिरता उच्च नक़्काशी सटीकता और एकरूपता सुनिश्चित करने में मदद करती है, जिससे एलईडी चिप्स में उपज और डिवाइस का प्रदर्शन बढ़ जाता है।
3. फोटोवोल्टिक्स (पीवी) और सौर ऊर्जा
SiC सिरेमिक प्लेटों का उपयोग सौर सेल उत्पादन में भी किया जाता है, विशेष रूप से उच्च तापमान सिंटरिंग और एनीलिंग चरणों के दौरान। उच्च तापमान पर उनकी निष्क्रियता और विरूपण का विरोध करने की क्षमता सिलिकॉन वेफर्स की सुसंगत प्रसंस्करण सुनिश्चित करती है। इसके अतिरिक्त, फोटोवोल्टिक कोशिकाओं की दक्षता बनाए रखने के लिए उनका कम संदूषण जोखिम महत्वपूर्ण है।
SiC सिरेमिक प्लेट गुण
1. असाधारण यांत्रिक शक्ति और कठोरता
SiC सिरेमिक प्लेटें बहुत उच्च यांत्रिक शक्ति प्रदर्शित करती हैं, जिसमें एक विशिष्ट फ्लेक्सुरल शक्ति 400 MPa से अधिक होती है और विकर्स कठोरता >2000 HV तक पहुँचती है। यह उन्हें यांत्रिक घिसाव, घर्षण और विरूपण के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी बनाता है, जो उच्च भार या बार-बार थर्मल साइकलिंग के तहत भी लंबे समय तक सेवा जीवन सुनिश्चित करता है।
2. उच्च तापीय चालकता
SiC में उत्कृष्ट तापीय चालकता (आमतौर पर 120-200 W/m·K) होती है, जिससे यह अपनी सतह पर समान रूप से गर्मी वितरित कर सकता है। यह गुण वेफर एचिंग, डिपोजिशन या सिंटरिंग जैसी प्रक्रियाओं में महत्वपूर्ण है, जहां तापमान की एकरूपता सीधे उत्पाद की उपज और गुणवत्ता को प्रभावित करती है।
3. बेहतर थर्मल स्थिरता
उच्च गलनांक (2700°C) और कम तापीय विस्तार गुणांक (4.0 × 10⁻⁶/K) के साथ, SiC सिरेमिक प्लेटें तेज़ हीटिंग और कूलिंग चक्रों के तहत आयामी सटीकता और संरचनात्मक अखंडता बनाए रखती हैं। यह उन्हें उच्च तापमान वाली भट्टियों, वैक्यूम चैंबर और प्लाज़्मा वातावरण में अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाता है।
| तकनीकी गुण | ||||
| अनुक्रमणिका | इकाई | कीमत | ||
| सामग्री का नाम | प्रतिक्रिया सिन्टर सिलिकॉन कार्बाइड | दबाव रहित सिन्टर सिलिकॉन कार्बाइड | पुनःक्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड | |
| संघटन | आरबीएसआईसी | एसएसआईसी | आर-SiC | |
| थोक घनत्व | ग्राम/सेमी3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| आनमनी सार्मथ्य | एमपीए (केपीएसआई) | 338(49) | 380(55) | 80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
| सम्पीडक क्षमता | एमपीए (केपीएसआई) | 1120(158) | 3970(560) | > 600 |
| कठोरता | नूप | 2700 | 2800 | / |
| दृढ़ता तोड़ना | एमपीए एम1/2 | 4.5 | 4 | / |
| ऊष्मीय चालकता | डब्ल्यू/एमके | 95 | 120 | 23 |
| तापीय प्रसार गुणांक | 10-6.1/डिग्री सेल्सियस | 5 | 4 | 4.7 |
| विशिष्ट ऊष्मा | जूल/जी 0k | 0.8 | 0.67 | / |
| हवा में अधिकतम तापमान | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
| प्रत्यास्थता मापांक | जीपीए | 360 | 410 | 240 |
SiC सिरेमिक प्लेट प्रश्नोत्तर
प्रश्न: सिलिकॉन कार्बाइड प्लेट के गुण क्या हैं?
ए: सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) प्लेटें अपनी उच्च शक्ति, कठोरता और तापीय स्थिरता के लिए जानी जाती हैं। वे उत्कृष्ट तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार प्रदान करते हैं, जो अत्यधिक तापमान के तहत विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित करते हैं। SiC रासायनिक रूप से निष्क्रिय भी है, एसिड, क्षार और प्लाज्मा वातावरण के लिए प्रतिरोधी है, जो इसे सेमीकंडक्टर और LED प्रसंस्करण के लिए आदर्श बनाता है। इसकी घनी, चिकनी सतह कण उत्पादन को कम करती है, जिससे क्लीनरूम अनुकूलता बनी रहती है। SiC प्लेटों का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर, फोटोवोल्टिक और एयरोस्पेस उद्योगों में उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में वेफर वाहक, ससेप्टर और सहायक घटकों के रूप में उपयोग किया जाता है।
