SiC सब्सट्रेट P-टाइप 4H/6H-P 3C-N 4 इंच 350um मोटाई के साथ उत्पादन ग्रेड डमी ग्रेड
4 इंच SiC सब्सट्रेट P-टाइप 4H/6H-P 3C-N पैरामीटर तालिका
4 इंच व्यास सिलिकॉनकार्बाइड (SiC) सब्सट्रेट विनिर्देश
| श्रेणी | शून्य एमपीडी उत्पादन ग्रेड(Z श्रेणी) | मानक उत्पादन ग्रेड (पी श्रेणी) | डमी ग्रेड (D श्रेणी) | ||
| व्यास | 99.5 मिमी~100.0 मिमी | ||||
| मोटाई | 350μm ± 25μm | ||||
| वेफर ओरिएंटेशन | अक्ष से दूर: 2.0°-4.0° की ओर [1120] ± 0.5° 4H/6H- के लिएP, On अक्ष:〈111〉± 0.5° 3C-N के लिए | ||||
| माइक्रोपाइप घनत्व | 0 सेमी-2 | ||||
| प्रतिरोधकता | पी-प्रकार 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏसेमी | ≤0.3 Ωꞏसेमी | ||
| एन-टाइप 3सी-एन | ≤0.8 mΩꞏसेमी | ≤1 मी Ωꞏसेमी | |||
| प्राथमिक फ्लैट अभिविन्यास | 4एच/6एच-पी | - {1010} ± 5.0° | |||
| 3सी-एन | - {110} ± 5.0° | ||||
| प्राथमिक फ्लैट लंबाई | 32.5 मिमी ± 2.0 मिमी | ||||
| द्वितीयक फ्लैट लंबाई | 18.0 मिमी ± 2.0 मिमी | ||||
| द्वितीयक समतल अभिविन्यास | सिलिकॉन फेस अप: प्राइम फ्लैट से 90° CW.±5.0° | ||||
| एज एक्सक्लूज़न | 3 मिमी | 6 मिमी | |||
| एलटीवी/टीटीवी/धनुष/ताना | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 माइक्रोन | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 माइक्रोन | |||
| बेअदबी | पोलिश Ra≤1 एनएम | ||||
| सीएमपी रा≤0.2 एनएम | रा≤0.5 एनएम | ||||
| उच्च तीव्रता प्रकाश द्वारा किनारे दरारें | कोई नहीं | संचयी लंबाई ≤ 10 मिमी, एकल लंबाई ≤2 मिमी | |||
| उच्च तीव्रता प्रकाश द्वारा हेक्स प्लेटें | संचयी क्षेत्र ≤0.05% | संचयी क्षेत्र ≤0.1% | |||
| उच्च तीव्रता प्रकाश द्वारा पॉलीटाइप क्षेत्र | कोई नहीं | संचयी क्षेत्र≤3% | |||
| दृश्य कार्बन समावेशन | संचयी क्षेत्र ≤0.05% | संचयी क्षेत्र ≤3% | |||
| उच्च तीव्रता प्रकाश द्वारा सिलिकॉन सतह खरोंच | कोई नहीं | संचयी लंबाई≤1×वेफर व्यास | |||
| एज चिप्स उच्च तीव्रता प्रकाश द्वारा | ≥0.2 मिमी चौड़ाई और गहराई की अनुमति नहीं है | 5 की अनुमति, ≤1 मिमी प्रत्येक | |||
| उच्च तीव्रता द्वारा सिलिकॉन सतह संदूषण | कोई नहीं | ||||
| पैकेजिंग | मल्टी-वेफर कैसेट या सिंगल वेफर कंटेनर | ||||
टिप्पणियाँ:
※दोष सीमाएँ किनारे बहिष्करण क्षेत्र को छोड़कर संपूर्ण वेफर सतह पर लागू होती हैं। # खरोंच की जाँच केवल Si फेस पर ही की जानी चाहिए।
350 μm की मोटाई वाला P-टाइप 4H/6H-P 3C-N 4-इंच SiC सब्सट्रेट उन्नत इलेक्ट्रॉनिक और पावर डिवाइस निर्माण में व्यापक रूप से लागू किया जाता है। उत्कृष्ट तापीय चालकता, उच्च ब्रेकडाउन वोल्टेज और चरम वातावरण के लिए मजबूत प्रतिरोध के साथ, यह सब्सट्रेट उच्च-प्रदर्शन वाले पावर इलेक्ट्रॉनिक्स जैसे कि उच्च-वोल्टेज स्विच, इनवर्टर और RF डिवाइस के लिए आदर्श है। उत्पादन-ग्रेड सब्सट्रेट का उपयोग बड़े पैमाने पर विनिर्माण में किया जाता है, जो विश्वसनीय, उच्च-सटीक डिवाइस प्रदर्शन सुनिश्चित करता है, जो पावर इलेक्ट्रॉनिक्स और उच्च-आवृत्ति अनुप्रयोगों के लिए महत्वपूर्ण है। दूसरी ओर, डमी-ग्रेड सब्सट्रेट का उपयोग मुख्य रूप से प्रक्रिया अंशांकन, उपकरण परीक्षण और प्रोटोटाइप विकास के लिए किया जाता है, जो सेमीकंडक्टर उत्पादन में गुणवत्ता नियंत्रण और प्रक्रिया स्थिरता बनाए रखने में मदद करता है।
विशिष्टताएन-प्रकार SiC मिश्रित सबस्ट्रेट्स के लाभों में शामिल हैं
- उच्च तापीय चालकताकुशल ताप अपव्यय सब्सट्रेट को उच्च तापमान और उच्च शक्ति अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाता है।
- उच्च ब्रेकडाउन वोल्टेज: उच्च वोल्टेज संचालन का समर्थन करता है, विद्युत इलेक्ट्रॉनिक्स और आरएफ उपकरणों में विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है।
- कठोर वातावरण के प्रति प्रतिरोधउच्च तापमान और संक्षारक वातावरण जैसी चरम स्थितियों में टिकाऊ, लंबे समय तक चलने वाला प्रदर्शन सुनिश्चित करता है।
- उत्पादन-ग्रेड परिशुद्धता: बड़े पैमाने पर विनिर्माण में उच्च गुणवत्ता और विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित करता है, उन्नत शक्ति और आरएफ अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त है।
- परीक्षण के लिए डमी-ग्रेड: उत्पादन-ग्रेड वेफर्स से समझौता किए बिना सटीक प्रक्रिया अंशांकन, उपकरण परीक्षण और प्रोटोटाइपिंग को सक्षम बनाता है।
कुल मिलाकर, 350 μm की मोटाई वाला P-टाइप 4H/6H-P 3C-N 4-इंच SiC सब्सट्रेट उच्च-प्रदर्शन इलेक्ट्रॉनिक अनुप्रयोगों के लिए महत्वपूर्ण लाभ प्रदान करता है। इसकी उच्च तापीय चालकता और ब्रेकडाउन वोल्टेज इसे उच्च-शक्ति और उच्च-तापमान वातावरण के लिए आदर्श बनाता है, जबकि कठोर परिस्थितियों के प्रति इसका प्रतिरोध स्थायित्व और विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है। उत्पादन-ग्रेड सब्सट्रेट पावर इलेक्ट्रॉनिक्स और RF उपकरणों के बड़े पैमाने पर निर्माण में सटीक और सुसंगत प्रदर्शन सुनिश्चित करता है। इस बीच, डमी-ग्रेड सब्सट्रेट प्रक्रिया अंशांकन, उपकरण परीक्षण और प्रोटोटाइपिंग के लिए आवश्यक है, जो सेमीकंडक्टर उत्पादन में गुणवत्ता नियंत्रण और स्थिरता का समर्थन करता है। ये विशेषताएं SiC सब्सट्रेट को उन्नत अनुप्रयोगों के लिए अत्यधिक बहुमुखी बनाती हैं।
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