सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल (SiC कैंटिलीवर पैडल)

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विशेषताएँ

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उत्पाद अवलोकन

उच्च-प्रदर्शन प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड (RBSiC) से निर्मित सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल, अर्धचालक और फोटोवोल्टिक अनुप्रयोगों के लिए वेफर लोडिंग और हैंडलिंग सिस्टम में उपयोग किया जाने वाला एक महत्वपूर्ण घटक है।
परंपरागत क्वार्ट्ज़ या ग्रेफाइट पैडल की तुलना में, SiC कैंटिलीवर पैडल बेहतर यांत्रिक शक्ति, उच्च कठोरता, कम तापीय विस्तार और उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करते हैं। ये उच्च तापमान पर भी उत्कृष्ट संरचनात्मक स्थिरता बनाए रखते हैं, जिससे बड़े वेफर आकार, लंबी सेवा अवधि और अत्यंत कम संदूषण की सख्त आवश्यकताओं को पूरा किया जा सकता है।

बड़े वेफर व्यास, उच्च थ्रूपुट और स्वच्छ प्रसंस्करण वातावरण की दिशा में अर्धचालक प्रक्रियाओं के निरंतर विकास के साथ, SiC कैंटिलीवर पैडल ने धीरे-धीरे पारंपरिक सामग्रियों की जगह ले ली है, और डिफ्यूजन फर्नेस, LPCVD और संबंधित उच्च-तापमान उपकरणों के लिए पसंदीदा विकल्प बन गए हैं।

उत्पाद की विशेषताएँ

उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता
- यह 1000–1300℃ तापमान पर बिना विकृति के विश्वसनीय रूप से कार्य करता है।
- अधिकतम सेवा तापमान 1380℃ तक।
उच्च भार वहन क्षमता
- क्वार्ट्ज पैडल की तुलना में कहीं अधिक, 250-280 एमपीए तक की झुकने की क्षमता।
- यह बड़े व्यास वाले वेफर्स (300 मिमी और उससे अधिक) को संभालने में सक्षम है।
लंबी सेवा अवधि और कम रखरखाव
- कम तापीय विस्तार गुणांक (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), जो LPCVD कोटिंग सामग्री के साथ अच्छी तरह से मेल खाता है।
- तनाव के कारण होने वाली दरारों और पपड़ी को कम करता है, जिससे सफाई और रखरखाव चक्र काफी बढ़ जाता है।
संक्षारण प्रतिरोध और शुद्धता
- अम्लों और क्षारों के प्रति उत्कृष्ट प्रतिरोध।
- 0.1% से कम खुली छिद्रों वाली सघन सूक्ष्म संरचना, कणों के निर्माण और अशुद्धियों के उत्सर्जन को कम करती है।
स्वचालन-संगत डिज़ाइन
- उच्च आयामी सटीकता के साथ स्थिर अनुप्रस्थ काट ज्यामिति।
- यह रोबोटिक वेफर लोडिंग और अनलोडिंग सिस्टम के साथ सहजता से एकीकृत हो जाता है, जिससे पूरी तरह से स्वचालित उत्पादन संभव हो पाता है।

भौतिक और रासायनिक गुण

वस्तु	इकाई	डेटा
अधिकतम सेवा तापमान	℃	1380
घनत्व	ग्राम/सेमी³	3.04 – 3.08
खुली सरंध्रता	%	< 0.1
झुकने की ताकत	एमपीए	250 (20℃), 280 (1200℃)
प्रत्यास्थता मापांक	जीपीए	330 (20℃), 300 (1200℃)
ऊष्मीय चालकता	डब्ल्यू/एम·के	45 (1200℃)
तापीय विस्तार गुणांक	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
विकर्स कठोरता	एचवी2	≥ 2100
अम्ल/क्षार प्रतिरोध	-	उत्कृष्ट

मानक लंबाई:2378 मिमी, 2550 मिमी, 2660 मिमी
अनुरोध पर अनुकूलित आयाम उपलब्ध हैं

आवेदन

सेमीकंडक्टर उद्योग
- एलपीसीवीडी (कम दबाव रासायनिक वाष्प जमाव)
- विसरण प्रक्रियाएँ (फास्फोरस, बोरॉन, आदि)
- थर्मल ऑक्सीकरण
फोटोवोल्टिक उद्योग
- पॉलीसिलिकॉन और मोनोक्रिस्टलाइन वेफर का प्रसार और कोटिंग
- उच्च तापमान पर एनीलिंग और पैसिवेशन
अन्य क्षेत्र
- उच्च तापमान संक्षारक वातावरण
- सटीक वेफर हैंडलिंग सिस्टम जिन्हें लंबे सेवा जीवन और कम संदूषण की आवश्यकता होती है

ग्राहक के लाभ

परिचालन लागत में कमीक्वार्ट्ज पैडल की तुलना में अधिक जीवनकाल, जिससे डाउनटाइम और प्रतिस्थापन की आवृत्ति कम हो जाती है।
उच्च उपज– बेहद कम संदूषण से वेफर की सतह की स्वच्छता सुनिश्चित होती है और दोष दर कम होती है।
भविष्य की सुरक्षा देने वाला– बड़े वेफर आकार और अगली पीढ़ी की सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं के साथ संगत।
उत्पादकता में सुधार– रोबोटिक स्वचालन प्रणालियों के साथ पूरी तरह से संगत, उच्च मात्रा में उत्पादन का समर्थन करता है।

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न – सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल

प्रश्न 1: सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल क्या है?
ए: यह रिएक्शन-बॉन्डेड सिलिकॉन कार्बाइड (RBSiC) से बना एक वेफर सपोर्ट और हैंडलिंग कंपोनेंट है। इसका व्यापक रूप से डिफ्यूजन फर्नेस, एलपीसीवीडी और अन्य उच्च तापमान वाले सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टाइक प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है।

प्रश्न 2: क्वार्ट्ज पैडल के बजाय SiC को क्यों चुनें?
ए: क्वार्ट्ज पैडल की तुलना में, SiC पैडल निम्नलिखित लाभ प्रदान करते हैं:

उच्च यांत्रिक शक्ति और भार वहन क्षमता
1380℃ तक के तापमान पर बेहतर तापीय स्थिरता
बहुत लंबी सेवा अवधि और कम रखरखाव चक्र
कणों के उत्पादन और संदूषण के जोखिम को कम करना
बड़े वेफर आकार (300 मिमी और उससे अधिक) के साथ संगतता

Q3: SiC कैंटिलीवर पैडल किस आकार के वेफर को सपोर्ट कर सकता है?
ए: 2378 मिमी, 2550 मिमी और 2660 मिमी फर्नेस सिस्टम के लिए मानक पैडल उपलब्ध हैं। 300 मिमी और उससे अधिक व्यास वाले वेफर्स के लिए अनुकूलित आयाम भी उपलब्ध हैं।

हमारे बारे में

XKH विशेष ऑप्टिकल ग्लास और नए क्रिस्टल पदार्थों के उच्च-तकनीकी विकास, उत्पादन और बिक्री में विशेषज्ञता रखती है। हमारे उत्पाद ऑप्टिकल इलेक्ट्रॉनिक्स, उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स और सैन्य क्षेत्र में उपयोग किए जाते हैं। हम नीलमणि ऑप्टिकल घटक, मोबाइल फोन लेंस कवर, सिरेमिक, एलटी, सिलिकॉन कार्बाइड एसआईसी, क्वार्ट्ज और सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वेफर्स प्रदान करते हैं। कुशल विशेषज्ञता और अत्याधुनिक उपकरणों के साथ, हम गैर-मानक उत्पाद प्रसंस्करण में उत्कृष्ट हैं और हमारा लक्ष्य ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक सामग्री के क्षेत्र में एक अग्रणी उच्च-तकनीकी उद्यम बनना है।