सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टर (फोर्क आर्म/हैंड टाइप)

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरइसका उत्पादन एक विशेष सिरेमिक निर्माण प्रक्रिया के माध्यम से किया जाता है जो उच्च शुद्धता, उच्च घनत्व और दीर्घकालिक विश्वसनीयता की गारंटी देता है। पूरी उत्पादन प्रक्रिया के दौरान, सख्त गुणवत्ता नियंत्रण यह सुनिश्चित करते हैं कि प्रत्येक उत्पादसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरयह सेमीकंडक्टर श्रेणी के स्वचालित प्रणालियों की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करता है।

1. सामग्री की तैयारी

उत्पादन प्रक्रिया उच्च शुद्धता वाले SiC पाउडर के चयन से शुरू होती है। ये पाउडर उत्पाद की यांत्रिक शक्ति और शुद्धता निर्धारित करते हैं।सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरआदर्श कण संयोजन प्राप्त करने और एकसमान सघनता को बढ़ावा देने के लिए विशेष बाइंडर और सिंटरिंग योजक पदार्थों का मिश्रण किया जाता है।

2. आकार देना और पूर्व-निर्माण करना

हरे रंग का शरीरसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरइसका निर्माण आइसोस्टैटिक प्रेसिंग या सिरेमिक इंजेक्शन मोल्डिंग का उपयोग करके किया जाता है। यह न्यूनतम आंतरिक दोषों के साथ तनाव-संतुलित संरचना सुनिश्चित करता है। इस चरण में फोर्क-शैली की ज्यामिति को वेफर व्यास और रोबोटिक माउंटिंग इंटरफेस से मेल खाने के लिए आकार दिया जाता है।

3. उच्च तापमान पर सिंटरिंग

आकारित घटक को निर्वात या अक्रिय वातावरण में 2000°C से ऊपर के तापमान पर सिंटर किया जाता है। इस चरण के दौरान,सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरयह चरण सैद्धांतिक घनत्व के लगभग बराबर पहुँच जाता है, जिससे उत्कृष्ट कठोरता, ऊष्मीय आघात प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता प्राप्त होती है। यह चरण घटक की यांत्रिक अखंडता को परिभाषित करता है।

4. सीएनसी प्रेसिजन मशीनिंग

सिंटरिंग के बाद, डायमंड ग्राइंडिंग और मल्टी-एक्सिस सीएनसी मशीनिंग द्वारा ज्यामिति को परिष्कृत किया जाता है।सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरवेफर संपर्क सतहों, माउंटिंग होल, अलाइनमेंट ग्रूव और फोर्क स्पेसिंग जैसी महत्वपूर्ण विशेषताओं को ±0.01 मिमी जितनी सटीक सहनशीलता के साथ मशीनीकृत किया जाता है।

5. सतह की परिष्करण और सफाई

अंततःसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरइस मशीन की अति सूक्ष्म पॉलिशिंग और उच्च शुद्धता वाली अल्ट्रासोनिक सफाई की जाती है। इस प्रक्रिया से सतह की खुरदरापन कम होती है और सूक्ष्म कण हट जाते हैं, जिससे क्लीनरूम के अनुकूलता सुनिश्चित होती है। वैकल्पिक रूप से CVD-SiC कोटिंग या प्लाज्मा-प्रतिरोधी परतें इसकी टिकाऊपन को और बढ़ा सकती हैं।

यह सावधानीपूर्वक उत्पादन प्रक्रिया सुनिश्चित करती है कि प्रत्येक उत्पादसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरयह उच्च परिशुद्धता स्वचालन वातावरण में विश्वसनीय रूप से कार्य करता है।