सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंड
विस्तृत आरेख
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक फोर्क आर्म/हैंड का परिचय
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडयह एक उन्नत हैंडलिंग घटक है जिसे उच्च-परिशुद्धता स्वचालन प्रणालियों, विशेष रूप से अर्धचालक और प्रकाशिक उद्योगों के लिए विकसित किया गया है। इस घटक में एक विशिष्ट U-आकार का डिज़ाइन है जो वेफर हैंडलिंग के लिए अनुकूलित है, जो चरम पर्यावरणीय परिस्थितियों में यांत्रिक शक्ति और आयामी सटीकता दोनों सुनिश्चित करता है। उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक से निर्मित, यहकांटा भुजा/हाथअसाधारण कठोरता, तापीय स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करता है।
जैसे-जैसे अर्धचालक उपकरण अधिक सूक्ष्म ज्यामिति और अधिक सख्त सहनशीलता की ओर विकसित होते हैं, संदूषण-मुक्त और तापीय रूप से स्थिर घटकों की मांग महत्वपूर्ण हो जाती है।सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडयह कम कण उत्पादन, अति-चिकनी सतहें और मज़बूत संरचनात्मक अखंडता प्रदान करके इस चुनौती का सामना करता है। चाहे वेफर परिवहन हो, सब्सट्रेट पोजिशनिंग हो, या रोबोटिक टूल हेड्स हों, इस घटक को विश्वसनीयता और दीर्घायु के लिए डिज़ाइन किया गया है।
इसे चुनने के मुख्य कारणसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडशामिल करना:
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आयामी परिशुद्धता के लिए न्यूनतम तापीय विस्तार
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लंबे समय तक सेवा के लिए उच्च कठोरता
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अम्ल, क्षार और प्रतिक्रियाशील गैसों के प्रति प्रतिरोध
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ISO क्लास 1 क्लीनरूम वातावरण के साथ संगतता
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक फोर्क आर्म/हैंड का निर्माण सिद्धांत
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडयह उच्च नियंत्रित सिरेमिक प्रसंस्करण कार्यप्रवाह के माध्यम से उत्पादित किया जाता है, जिसे बेहतर सामग्री गुणों और आयामी स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
1. पाउडर तैयार करना
यह प्रक्रिया अति-सूक्ष्म सिलिकॉन कार्बाइड पाउडर के चयन से शुरू होती है। इन पाउडरों को संघनन और सघनीकरण को सुगम बनाने के लिए बाइंडरों और सिंटरिंग सहायक पदार्थों के साथ मिलाया जाता है। इसके लिएकांटा भुजा/हाथकठोरता और मजबूती दोनों सुनिश्चित करने के लिए β-SiC या α-SiC पाउडर का उपयोग किया जाता है।
2. आकार देना और पूर्व-प्रदर्शन करना
जटिलता के आधार परकांटा भुजा/हाथडिज़ाइन में, भाग को आइसोस्टैटिक प्रेसिंग, इंजेक्शन मोल्डिंग या स्लिप कास्टिंग का उपयोग करके आकार दिया जाता है। इससे जटिल ज्यामिति और पतली दीवार वाली संरचनाएँ बनती हैं, जो इसके हल्केपन के लिए अत्यंत महत्वपूर्ण हैं।सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंड.
3. उच्च तापमान सिंटरिंग
सिंटरिंग 2000°C से अधिक तापमान पर निर्वात या आर्गन वातावरण में की जाती है। इस चरण में ग्रीन बॉडी को पूरी तरह से सघन सिरेमिक घटक में बदल दिया जाता है। सिंटरिंगकांटा भुजा/हाथयह लगभग सैद्धांतिक घनत्व प्राप्त करता है, तथा उत्कृष्ट यांत्रिक और तापीय गुण प्रदान करता है।
4. परिशुद्ध मशीनिंग
सिंटरिंग के बाद,सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडइसे डायमंड ग्राइंडिंग और सीएनसी मशीनिंग से गुज़ारा जाता है। इससे ±0.01 मिमी के भीतर समतलता सुनिश्चित होती है और स्वचालित प्रणालियों में इसकी स्थापना के लिए महत्वपूर्ण माउंटिंग छेद और लोकेटिंग सुविधाएँ शामिल करने की सुविधा मिलती है।
5. सतह परिष्करण
पॉलिशिंग सतह की खुरदरापन (Ra < 0.02 μm) को कम करती है, जो कण निर्माण को कम करने के लिए आवश्यक है। प्लाज्मा प्रतिरोध को बेहतर बनाने या एंटीस्टेटिक व्यवहार जैसी कार्यक्षमता बढ़ाने के लिए वैकल्पिक CVD कोटिंग्स लगाई जा सकती हैं।
इस पूरी प्रक्रिया के दौरान, गुणवत्ता नियंत्रण प्रोटोकॉल लागू किए जाते हैं ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके किसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडसबसे संवेदनशील अनुप्रयोगों में विश्वसनीय ढंग से कार्य करता है।
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक फोर्क आर्म/हैंड के पैरामीटर
| सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश | ||
| SiC-CVD गुण | ||
| क्रिस्टल की संरचना | एफसीसी β चरण | |
| घनत्व | ग्राम/सेमी ³ | 3.21 |
| कठोरता | विकर्स कठोरता | 2500 |
| अनाज आकार | माइक्रोन | 2~10 |
| रासायनिक शुद्धता | % | 99.99995 |
| ताप की गुंजाइश | जे·किग्रा-1 ·के-1 | 640 |
| उर्ध्वपातन तापमान | ℃ | 2700 |
| फेलेक्सुरल ताकत | एमपीए (आरटी 4-बिंदु) | 415 |
| यंग मापांक | Gpa (4pt बेंड, 1300℃) | 430 |
| तापीय विस्तार (सीटीई) | 10-6K -1 | 4.5 |
| ऊष्मीय चालकता | (डब्ल्यू/एमके) | 300 |
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक फोर्क आर्म/हैंड के अनुप्रयोग
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडउन उद्योगों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है जहाँ उच्च शुद्धता, स्थिरता और यांत्रिक परिशुद्धता आवश्यक है। इनमें शामिल हैं:
1. अर्धचालक विनिर्माण
अर्धचालक निर्माण में,सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडइसका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स को एचिंग चैंबर्स, डिपोजिशन सिस्टम और निरीक्षण उपकरणों जैसे प्रोसेस टूल्स के भीतर ले जाने के लिए किया जाता है। इसका तापीय प्रतिरोध और आयामी सटीकता इसे वेफर के गलत संरेखण और संदूषण को कम करने के लिए आदर्श बनाती है।
2. डिस्प्ले पैनल उत्पादन
OLED और LCD डिस्प्ले निर्माण में,कांटा भुजा/हाथइसका उपयोग पिक-एंड-प्लेस सिस्टम में किया जाता है, जहाँ यह नाज़ुक काँच के सबस्ट्रेट्स को संभालता है। इसका कम द्रव्यमान और उच्च कठोरता, कंपन या विक्षेपण के बिना तेज़ और स्थिर गति को संभव बनाती है।
3. ऑप्टिकल और फोटोनिक सिस्टम
लेंस, दर्पण या फोटोनिक चिप्स के संरेखण और स्थिति निर्धारण के लिए,सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडकंपन-मुक्त समर्थन प्रदान करता है, जो लेजर प्रसंस्करण और सटीक मेट्रोलॉजी अनुप्रयोगों में महत्वपूर्ण है।
4. एयरोस्पेस और वैक्यूम सिस्टम
एयरोस्पेस ऑप्टिकल प्रणालियों और वैक्यूम उपकरणों में, इस घटक की गैर-चुंबकीय, संक्षारण-प्रतिरोधी संरचना दीर्घकालिक स्थिरता सुनिश्चित करती है।कांटा भुजा/हाथयह गैस उत्सर्जन के बिना अल्ट्रा-हाई वैक्यूम (UHV) में भी काम कर सकता है।
इन सभी क्षेत्रों में,सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडविश्वसनीयता, स्वच्छता और सेवा जीवन में पारंपरिक धातु या बहुलक विकल्पों से बेहतर प्रदर्शन करता है।
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक फोर्क आर्म/हैंड के अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न
प्रश्न 1: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक फोर्क आर्म/हैंड द्वारा किस वेफर आकार का समर्थन किया जाता है?
कांटा भुजा/हाथ150 मिमी, 200 मिमी और 300 मिमी वेफ़र्स को सपोर्ट करने के लिए अनुकूलित किया जा सकता है। फोर्क स्पैन, आर्म की चौड़ाई और होल पैटर्न को आपके विशिष्ट ऑटोमेशन प्लेटफ़ॉर्म के अनुरूप बनाया जा सकता है।
प्रश्न 2: क्या सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक फोर्क आर्म/हैंड वैक्यूम सिस्टम के साथ संगत है?
हांकांटा भुजा/हाथयह कम-वैक्यूम और अति-उच्च-वैक्यूम, दोनों प्रणालियों के लिए उपयुक्त है। इसकी गैस उत्सर्जन दर कम है और यह कणिकाएँ नहीं छोड़ता, जिससे यह क्लीनरूम और वैक्यूम वातावरण के लिए आदर्श है।
प्रश्न 3: क्या मैं फोर्क आर्म/हैंड पर कोटिंग या सतह संशोधन जोड़ सकता हूं?
निश्चित रूप से.सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडइसके प्लाज्मा प्रतिरोध, एंटी-स्टैटिक गुणों या सतह कठोरता को बढ़ाने के लिए इसे CVD-SiC, कार्बन या ऑक्साइड परतों के साथ लेपित किया जा सकता है।
प्रश्न 4: फोर्क आर्म/हैंड की गुणवत्ता का सत्यापन कैसे किया जाता है?
प्रत्येकसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंडसीएमएम और लेज़र मेट्रोलॉजी उपकरणों का उपयोग करके आयामी निरीक्षण किया जाता है। आईएसओ और सेमी मानकों को पूरा करने के लिए सतह की गुणवत्ता का मूल्यांकन एसईएम और गैर-संपर्क प्रोफाइलोमेट्री के माध्यम से किया जाता है।
प्रश्न 5: कस्टम कांटा हाथ / हाथ आदेश के लिए लीड समय क्या है?
जटिलता और मात्रा के आधार पर, लीड टाइम आमतौर पर 3 से 5 हफ़्ते तक होता है। तत्काल अनुरोधों के लिए रैपिड प्रोटोटाइप उपलब्ध है।
इन FAQ का उद्देश्य इंजीनियरों और खरीद टीमों को एक उत्पाद का चयन करते समय उपलब्ध क्षमताओं और विकल्पों को समझने में मदद करना है।सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कांटा आर्म/हैंड.
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