सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे चूसने वाला सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब की आपूर्ति उच्च तापमान sintering कस्टम प्रसंस्करण
मुख्य विशेषताएं:
1. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे
- उच्च कठोरता और पहनने का प्रतिरोध: कठोरता हीरे के करीब है, और लंबे समय तक वेफर प्रसंस्करण में यांत्रिक पहनने का सामना कर सकती है।
- उच्च तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार गुणांक: तेजी से गर्मी अपव्यय और आयामी स्थिरता, थर्मल तनाव के कारण विरूपण से परहेज।
- उच्च समतलता और सतह परिष्करण: सतह समतलता माइक्रोन स्तर तक होती है, जिससे वेफर और डिस्क के बीच पूर्ण संपर्क सुनिश्चित होता है, तथा संदूषण और क्षति कम होती है।
रासायनिक स्थिरता: मजबूत संक्षारण प्रतिरोध, अर्धचालक विनिर्माण में गीली सफाई और नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त।
2. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान प्रतिरोध: यह लंबे समय तक 1600 डिग्री सेल्सियस से ऊपर उच्च तापमान वातावरण में काम कर सकता है, अर्धचालक उच्च तापमान प्रक्रिया के लिए उपयुक्त है।
उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: एसिड, क्षार और विभिन्न रासायनिक सॉल्वैंट्स के प्रति प्रतिरोधी, कठोर प्रक्रिया वातावरण के लिए उपयुक्त।
- उच्च कठोरता और पहनने के प्रतिरोध: कण क्षरण और यांत्रिक पहनने का विरोध, सेवा जीवन का विस्तार।
- उच्च तापीय चालकता और तापीय विस्तार का कम गुणांक: गर्मी का तेजी से चालन और आयामी स्थिरता, तापीय तनाव के कारण विरूपण या दरार को कम करना।
उत्पाद पैरामीटर：
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे पैरामीटर:
| (भौतिक संपत्ति) | (इकाई) | (एसएसआईसी) | |
| (SiC सामग्री) | (वजन)% | >99 | |
| (औसत अनाज का आकार) | माइक्रोन | 4-10 | |
| (घनत्व) | किग्रा/डीएम3 | >3.14 | |
| (स्पष्ट छिद्र्यता) | वो1% | <0.5 | |
| (विकर्स कठोरता) | एचवी 0.5 | जीपीए | 28 |
| *() फ्लेक्सुरल ताकत* (तीन अंक) | 20 डिग्री सेल्सियस | एमपीए | 450 |
| (सम्पीडक क्षमता) | 20 डिग्री सेल्सियस | एमपीए | 3900 |
| (प्रत्यास्थ मापांक) | 20 डिग्री सेल्सियस | जीपीए | 420 |
| (अस्थिभंग बेरहमी) | एमपीए/एम'% | 3.5 | |
| (ऊष्मीय चालकता) | 20°ºसेल्सियस | डब्ल्यू/(एम*के) | 160 |
| (प्रतिरोधकता) | 20°ºसेल्सियस | ओम.से.मी. | 106-108 |
(थर्मल विस्तार गुणांक) | ए(आरटी**...80ºC) | के-1*10-6 | 4.3 |
(अधिकतम प्रचालन तापमान) | ओºC | 1700 | |
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब पैरामीटर:
| सामान | अनुक्रमणिका |
| α-एसआईसी | 99% न्यूनतम |
| स्पष्ट छिद्रता | अधिकतम 16% |
| थोक घनत्व | 2.7 ग्राम/सेमी3 मिनट |
| उच्च तापमान पर झुकने की शक्ति | 100 एमपीए मिनट |
| तापीय प्रसार गुणांक | के-1 4.7x10 -6 |
| तापीय चालकता गुणांक(1400ºC) | 24 डब्लू/एमके |
| अधिकतम कार्य तापमान | 1650 डिग्री सेल्सियस |
मुख्य अनुप्रयोग:
1. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक प्लेट
- वेफर कटिंग और पॉलिशिंग: कटिंग और पॉलिशिंग के दौरान उच्च परिशुद्धता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए एक असर मंच के रूप में कार्य करता है।
- लिथोग्राफी प्रक्रिया: एक्सपोजर के दौरान उच्च परिशुद्धता स्थिति सुनिश्चित करने के लिए वेफर को लिथोग्राफी मशीन में स्थिर किया जाता है।
- रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग (सीएमपी): पॉलिशिंग पैड के लिए एक समर्थन मंच के रूप में कार्य करता है, समान दबाव और गर्मी वितरण प्रदान करता है।
2. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान भट्ठी ट्यूब: उच्च तापमान प्रक्रिया उपचार के लिए वेफर्स ले जाने के लिए प्रसार भट्ठी और ऑक्सीकरण भट्ठी जैसे उच्च तापमान उपकरणों के लिए उपयोग किया जाता है।
- सीवीडी/पीवीडी प्रक्रिया: प्रतिक्रिया कक्ष में एक असर ट्यूब के रूप में, उच्च तापमान और संक्षारक गैसों के लिए प्रतिरोधी।
- अर्धचालक उपकरण सहायक उपकरण: हीट एक्सचेंजर्स, गैस पाइपलाइनों आदि के लिए, उपकरणों की थर्मल प्रबंधन दक्षता में सुधार करने के लिए।
XKH सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे, सक्शन कप और सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब के लिए कस्टम सेवाओं की एक पूरी श्रृंखला प्रदान करता है। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे और सक्शन कप, XKH को विभिन्न आकारों, आकृतियों और सतह खुरदरापन की ग्राहक आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है, और विशेष कोटिंग उपचार का समर्थन करता है, पहनने के प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाता है; सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूबों के लिए, XKH विभिन्न प्रकार के आंतरिक व्यास, बाहरी व्यास, लंबाई और जटिल संरचना (जैसे आकार की ट्यूब या छिद्रपूर्ण ट्यूब) को अनुकूलित कर सकता है, और पॉलिशिंग, एंटी-ऑक्सीडेशन कोटिंग और अन्य सतह उपचार प्रक्रियाएं प्रदान कर सकता है। XKH सुनिश्चित करता है कि ग्राहक सेमीकंडक्टर, एलईडी और फोटोवोल्टिक्स जैसे उच्च-अंत विनिर्माण क्षेत्रों की मांग की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक उत्पादों के प्रदर्शन लाभों का पूरा लाभ उठा सकें।
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