सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे चूसने वाला सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब आपूर्ति उच्च तापमान sintering कस्टम प्रसंस्करण

संक्षिप्त वर्णन:

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे और सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब अर्धचालक विनिर्माण में अपरिहार्य उच्च-प्रदर्शन सामग्री हैं। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे का उपयोग मुख्य रूप से वेफर प्रोसेसिंग फिक्स्ड और असर में किया जाता है, ताकि उच्च-सटीक प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित हो सके; सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूबों का उपयोग उच्च तापमान भट्ठी ट्यूबों, प्रसार भट्ठी ट्यूबों और अन्य परिदृश्यों में चरम वातावरण का सामना करने और कुशल थर्मल प्रबंधन को बनाए रखने के लिए व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। दोनों कोर सामग्री के रूप में सिलिकॉन कार्बाइड पर आधारित हैं, जो अपने उत्कृष्ट भौतिक और रासायनिक गुणों के कारण अर्धचालक उद्योग में एक प्रमुख घटक बन गया है।

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उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

मुख्य विशेषताएं:

1। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे
- उच्च कठोरता और पहनने के प्रतिरोध: कठोरता हीरे के करीब है, और लंबे समय तक वेफर प्रसंस्करण में यांत्रिक पहनने का सामना कर सकती है।
- उच्च तापीय चालकता और कम थर्मल विस्तार गुणांक: तेजी से गर्मी अपव्यय और आयामी स्थिरता, थर्मल तनाव के कारण होने वाली विरूपण से परहेज।
- उच्च सपाट और सतह खत्म: सतह समतलता माइक्रोन स्तर तक है, वेफर और डिस्क के बीच पूर्ण संपर्क सुनिश्चित करना, संदूषण और क्षति को कम करना।
रासायनिक स्थिरता: मजबूत संक्षारण प्रतिरोध, सेमीकंडक्टर विनिर्माण में गीली सफाई और नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है।
2। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान प्रतिरोध: यह लंबे समय तक 1600 डिग्री सेल्सियस से ऊपर उच्च तापमान वातावरण में काम कर सकता है, अर्धचालक उच्च तापमान प्रक्रिया के लिए उपयुक्त है।
उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: एसिड, अल्कलिस और विभिन्न प्रकार के रासायनिक सॉल्वैंट्स के लिए प्रतिरोधी, कठोर प्रक्रिया वातावरण के लिए उपयुक्त।
- उच्च कठोरता और पहनने के प्रतिरोध: कण कटाव और यांत्रिक पहनने का विरोध करें, सेवा जीवन का विस्तार करें।
- उच्च तापीय चालकता और थर्मल विस्तार का कम गुणांक: गर्मी और आयामी स्थिरता का तेजी से चालन, थर्मल तनाव के कारण विरूपण या क्रैकिंग को कम करना।

उत्पाद पैरामीटर ：

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे पैरामीटर:

(भौतिक संपत्ति)		(इकाई)	(SSIC)
(एसआईसी सामग्री)		(Wt)%	> 99
(औसत अनाज का आकार)		माइक्रोन	4-10
(घनत्व)		किग्रा/डीएम 3	> 3.14
(स्पष्ट पोरसिटी)		VO1%	<0.5
(विकर्स कठोरता)	एचवी 0.5	जीपीए	28
() फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ (तीन अंक)	20 CC	एमपीए	450
(सम्पीडक क्षमता)	20 CC	एमपीए	3900
(लोचदार मापांक)	20 CC	जीपीए	420
(अस्थिभंग बेरहमी)		MPA/m '%	3.5
(ऊष्मीय चालकता)	20 ° .C	डब्ल्यू/(एम*के)	160
(प्रतिरोधकता)	20 ° .C	OHM.CM	106-108
(थर्मल विस्तार गुणांक)	ए (आरटी ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(अधिकतम परिचालन तापमान)		oc	1700

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब पैरामीटर:

सामान	अनुक्रमणिका
α- एसआईसी	99% मिनट
स्पष्ट पोरसिटी	16% अधिकतम
थोक घनत्व	2.7g/cm3 मिनट
उच्च तापमान पर झुकने की ताकत	100 एमपीए मिन
थर्मल विस्तार का गुणांक	K -1 4.7x10 -6
थर्मल चालकता का गुणांक (1400) C)	24 डब्ल्यू/एमके
अधिकतम। कार्य -तापमान	1650 .C

मुख्य अनुप्रयोग:

1। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक प्लेट
- वेफर कटिंग और पॉलिशिंग: काटने और चमकाने के दौरान उच्च परिशुद्धता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए एक असर मंच के रूप में कार्य करता है।
- लिथोग्राफी प्रक्रिया: एक्सपोज़र के दौरान उच्च सटीक स्थिति सुनिश्चित करने के लिए लिथोग्राफी मशीन में वेफर तय किया गया है।
- केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी): पॉलिशिंग पैड के लिए एक समर्थन मंच के रूप में कार्य करता है, जो समान दबाव और गर्मी वितरण प्रदान करता है।
2। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान भट्ठी ट्यूब: उच्च तापमान उपकरण जैसे उच्च तापमान उपकरण और ऑक्सीकरण भट्ठी के लिए उच्च तापमान प्रक्रिया उपचार के लिए वेफर्स ले जाने के लिए उपयोग किया जाता है।
- सीवीडी/पीवीडी प्रक्रिया: प्रतिक्रिया कक्ष में एक असर ट्यूब के रूप में, उच्च तापमान और संक्षारक गैसों के लिए प्रतिरोधी।
- सेमीकंडक्टर उपकरण सहायक उपकरण: हीट एक्सचेंजर्स, गैस पाइपलाइनों आदि के लिए, उपकरणों के थर्मल प्रबंधन दक्षता में सुधार करने के लिए।
XKH सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे, सक्शन कप और सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूबों के लिए कस्टम सेवाओं की एक पूरी श्रृंखला प्रदान करता है। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे और सक्शन कप, XKH को विभिन्न आकारों, आकारों और सतह खुरदरापन की ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है, और विशेष कोटिंग उपचार का समर्थन करते हैं, पहनने के प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाते हैं; सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूबों के लिए, XKH विभिन्न प्रकार के आंतरिक व्यास, बाहरी व्यास, लंबाई और जटिल संरचना (जैसे आकार की ट्यूब या झरझरा ट्यूब) को अनुकूलित कर सकता है, और पॉलिशिंग, एंटी-ऑक्सीकरण कोटिंग और अन्य सतह उपचार प्रक्रियाएं प्रदान कर सकता है। XKH यह सुनिश्चित करता है कि ग्राहक अर्धचालक, एलईडी और फोटोवोल्टिक जैसे उच्च-अंत विनिर्माण क्षेत्रों की मांग आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक उत्पादों के प्रदर्शन लाभों का पूरा लाभ उठा सकते हैं।