सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे सकर, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब की आपूर्ति, उच्च तापमान सिंटरिंग, कस्टम प्रोसेसिंग
मुख्य विशेषताएं:
1. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे
- उच्च कठोरता और घिसाव प्रतिरोध: इसकी कठोरता हीरे के समान है, और यह वेफर प्रसंस्करण में लंबे समय तक यांत्रिक घिसाव का सामना कर सकती है।
- उच्च तापीय चालकता और निम्न तापीय विस्तार गुणांक: तीव्र ऊष्मा अपव्यय और आयामी स्थिरता, तापीय तनाव के कारण होने वाले विरूपण से बचाव।
- उच्च समतलता और सतह की फिनिशिंग: सतह की समतलता माइक्रोन स्तर तक है, जो वेफर और डिस्क के बीच पूर्ण संपर्क सुनिश्चित करती है, जिससे संदूषण और क्षति कम होती है।
रासायनिक स्थिरता: उच्च संक्षारण प्रतिरोध, अर्धचालक निर्माण में गीली सफाई और नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त।
2. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान प्रतिरोध: यह 1600°C से अधिक के उच्च तापमान वाले वातावरण में लंबे समय तक काम कर सकता है, जो अर्धचालक उच्च तापमान प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है।
उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: अम्लों, क्षारों और विभिन्न प्रकार के रासायनिक विलायकों के प्रति प्रतिरोधी, कठोर प्रक्रिया वातावरण के लिए उपयुक्त।
- उच्च कठोरता और घिसाव प्रतिरोध: कणों के क्षरण और यांत्रिक घिसाव का प्रतिरोध करता है, सेवा जीवन को बढ़ाता है।
- उच्च तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार गुणांक: ऊष्मा का तीव्र संवाहक और आयामी स्थिरता, जिससे तापीय तनाव के कारण होने वाली विकृति या दरार कम हो जाती है।
उत्पाद पैरामीटर:
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे के पैरामीटर:
| (भौतिक गुण) | (इकाई) | (एसएसआईसी) | |
| (SiC सामग्री) | (वजन)% | >99 | |
| (औसत अनाज का आकार) | माइक्रोन | 4-10 | |
| (घनत्व) | किलोग्राम/डीएमआई3 | >3.14 | |
| (स्पष्ट सरंध्रता) | Vo1% | <0.5 | |
| (विकर्स कठोरता) | एचवी 0.5 | जीपीए | 28 |
| *() फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ* (तीन अंक) | 20º सेल्सियस | एमपीए | 450 |
| (सम्पीडक क्षमता) | 20º सेल्सियस | एमपीए | 3900 |
| (लोचदार मापांक) | 20º सेल्सियस | जीपीए | 420 |
| (अस्थिभंग बेरहमी) | एमपीए/मी'% | 3.5 | |
| (ऊष्मीय चालकता) | 20° सेल्सियस | डब्ल्यू/(एम*के) | 160 |
| (प्रतिरोधकता) | 20° सेल्सियस | ओम.सेमी | 106-108 |
(तापीय प्रसार गुणांक) | a(RT**...80ºC) | के-1*10-6 | 4.3 |
(अधिकतम परिचालन तापमान) | oºC | 1700 | |
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब के पैरामीटर:
| सामान | अनुक्रमणिका |
| α-एसआईसी | 99% न्यूनतम |
| स्पष्ट सरंध्रता | अधिकतम 16% |
| थोक घनत्व | 2.7 ग्राम/सेमी³ न्यूनतम |
| उच्च तापमान पर झुकने की क्षमता | 100 एमपीए न्यूनतम |
| तापीय प्रसार गुणांक | के-1 4.7x10 -6 |
| तापीय चालकता गुणांक (1400ºC) | 24 डब्ल्यू/एमके |
| अधिकतम कार्यशील तापमान | 1650ºC |
मुख्य अनुप्रयोग:
1. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक प्लेट
- वेफर कटिंग और पॉलिशिंग: कटिंग और पॉलिशिंग के दौरान उच्च परिशुद्धता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए एक बेयरिंग प्लेटफॉर्म के रूप में कार्य करता है।
- लिथोग्राफी प्रक्रिया: एक्सपोज़र के दौरान उच्च परिशुद्धता स्थिति सुनिश्चित करने के लिए वेफर को लिथोग्राफी मशीन में स्थिर किया जाता है।
- केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी): यह पॉलिशिंग पैड के लिए एक सहायक प्लेटफॉर्म के रूप में कार्य करता है, जिससे समान दबाव और गर्मी का वितरण होता है।
2. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान भट्टी ट्यूब: इसका उपयोग उच्च तापमान वाले उपकरणों जैसे कि डिफ्यूजन फर्नेस और ऑक्सीडेशन फर्नेस में उच्च तापमान प्रक्रिया उपचार के लिए वेफर्स को ले जाने के लिए किया जाता है।
- सीवीडी/पीवीडी प्रक्रिया: प्रतिक्रिया कक्ष में एक बेयरिंग ट्यूब के रूप में, उच्च तापमान और संक्षारक गैसों के प्रति प्रतिरोधी।
- सेमीकंडक्टर उपकरण सहायक उपकरण: हीट एक्सचेंजर, गैस पाइपलाइन आदि के लिए, उपकरणों की तापीय प्रबंधन दक्षता में सुधार करने के लिए।
XKH सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे, सक्शन कप और सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब के लिए अनुकूलित सेवाओं की एक पूरी श्रृंखला प्रदान करता है। XKH ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न आकार, आकृति और सतह की खुरदरापन के साथ सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे और सक्शन कप को अनुकूलित कर सकता है, और घिसाव प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाने के लिए विशेष कोटिंग उपचार प्रदान करता है। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब के लिए, XKH विभिन्न आंतरिक व्यास, बाहरी व्यास, लंबाई और जटिल संरचना (जैसे आकारित ट्यूब या छिद्रित ट्यूब) को अनुकूलित कर सकता है, और पॉलिशिंग, एंटी-ऑक्सीडेशन कोटिंग और अन्य सतह उपचार प्रक्रियाएं प्रदान करता है। XKH यह सुनिश्चित करता है कि ग्राहक सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक उत्पादों के प्रदर्शन लाभों का पूरा फायदा उठा सकें और सेमीकंडक्टर, एलईडी और फोटोवोल्टिक्स जैसे उच्च स्तरीय विनिर्माण क्षेत्रों की बढ़ती आवश्यकताओं को पूरा कर सकें।
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