अति-सटीकता SiC एयर-बेयरिंग स्टेज

अति-सटीकता वाले SiC एयर-बेयरिंग स्टेज की विशेष छवि

संक्षिप्त वर्णन:

सेमीकंडक्टर उद्योग के निरंतर विकास के साथ, प्रसंस्करण और निरीक्षण उपकरणों की प्रदर्शन क्षमता में लगातार वृद्धि हो रही है। मोशन कंट्रोल और नैनोमीटर-स्तर की पोजिशनिंग में अपनी व्यापक विशेषज्ञता के आधार पर, हमने एक प्लानर एच-टाइप ड्यूल-एक्सिस अल्ट्रा-प्रेसिजन एयर-बेयरिंग स्टेज विकसित किया है।

हमें ईमेल भेजें

विशेषताएँ

विस्तृत आरेख

अवलोकन

फाइनाइट-एलिमेंट ऑप्टिमाइज्ड सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक संरचना और कम्पेन्सेटेड एयर-बेयरिंग तकनीक से निर्मित, यह स्टेज उत्कृष्ट सटीकता, कठोरता और गतिशील प्रतिक्रिया प्रदान करता है। यह निम्नलिखित के लिए आदर्श रूप से उपयुक्त है:

सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण और निरीक्षण
सूक्ष्म/नैनो निर्माण और माप विज्ञान
नैनोमीटर पैमाने पर फ्लाई-कटिंग और पॉलिशिंग
उच्च गति सटीक स्कैनिंग

प्रमुख विशेषताऐं

SiC वायु-धारण गाइडवेअत्यधिक कठोरता और सटीकता के लिए
उच्च गतिशीलता: 1 मीटर/सेकंड तक का वेग, 4 ग्राम तक का त्वरण, तीव्र गति से स्थिर होना
डुअल-ड्राइव गैन्ट्री वाई-अक्षउच्च भार वहन क्षमता और स्थिरता सुनिश्चित करता है
एनकोडर विकल्पऑप्टिकल ग्रेटिंग या लेजर इंटरफेरोमीटर
स्थिति निर्धारण सटीकता: ±0.15 μm;repeatability: ±75 एनएम
अनुकूलित केबल रूटिंगस्वच्छ डिजाइन और दीर्घकालिक विश्वसनीयता के लिए
अनुकूलन योग्य कॉन्फ़िगरेशनअनुप्रयोग-विशिष्ट आवश्यकताओं के लिए

अति-सटीक डिज़ाइन और डायरेक्ट-ड्राइव, नॉन-कॉन्टैक्ट आर्किटेक्चर

SiC सिरेमिक फ्रेमएल्युमीनियम मिश्र धातु की तुलना में लगभग 5 गुना अधिक कठोरता और लगभग 5 गुना कम ऊष्मीय विस्तार, जो उच्च गति स्थिरता और ऊष्मीय मजबूती सुनिश्चित करता है।
क्षतिपूर्ति वायु-धारण: विशिष्ट डिजाइन कठोरता, भार वहन क्षमता और गति स्थिरता को बढ़ाता है।
गतिशील प्रदर्शनयह 1 मीटर/सेकंड की गति और 4 ग्राम के त्वरण का समर्थन करता है, जो उच्च-थ्रूपुट प्रक्रियाओं के लिए आदर्श है।
निर्बाध एकीकरण: यह वाइब्रेशन आइसोलेशन सिस्टम, रोटरी स्टेज, टिल्ट मॉड्यूल और वेफर हैंडलिंग प्लेटफॉर्म के साथ संगत है।
केबल प्रबंधननियंत्रित बेंडिंग त्रिज्या तनाव को कम करती है, जिससे सेवा जीवन लंबा होता है।

कोरलेस लीनियर मोटर: शून्य घर्षण बल के साथ सुचारू गति।
मल्टी-मोटर ड्राइवलोड-प्लेन मोटर की सही स्थिति से सीधी रेखा, समतलता और कोणीय सटीकता में सुधार होता है।
तापीय पृथक्करणमोटर्स को स्टेज संरचना से अलग रखा गया है; उच्च कार्य चक्रों के लिए वैकल्पिक वायु या जल शीतलन की व्यवस्था है।

विशेष विवरण

नमूना	400-400	500-500	600-600
कुल्हाड़ियों	X (स्कैन) / Y (चरण)	X (स्कैन) / Y (चरण)	X (स्कैन) / Y (चरण)
यात्रा (मिमी)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
शुद्धता (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
पुनरावर्तनीयता (एनएम)	±75	±100	±100
रिज़ॉल्यूशन (एनएम)	0.3	0.3	0.3
अधिकतम गति (मी/सेकंड)	1	1	1
त्वरण (g)	4	4	4
सीधापन (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
स्थिरता (एनएम)	±5	±5	±5
अधिकतम भार (किलोग्राम)	20	20	20
पिच/रोल/याव (आर्क-सेकंड)	±1	±1	±1

परीक्षण की स्थितियाँ:

वायु आपूर्ति: स्वच्छ, शुष्क; ओस बिंदु ≤ 0°F; कण निस्पंदन ≤ 0.25 μm; या 99.99% नाइट्रोजन।
20±1 °C तापमान और 40–60% सापेक्ष आर्द्रता पर स्टेज सेंटर से 25 मिमी ऊपर सटीकता मापी गई।

आवेदन

सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी, निरीक्षण और वेफर हैंडलिंग
सूक्ष्म/नैनो निर्माण और परिशुद्धता मापन
उच्च स्तरीय प्रकाशिकी निर्माण और इंटरफेरोमेट्री
एयरोस्पेस और उन्नत वैज्ञानिक अनुसंधान

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न – सिलिकॉन कार्बाइड एयर-बेयरिंग स्टेज

1. एयर-बेयरिंग स्टेज क्या है?

एयर-बेयरिंग स्टेज, स्टेज और गाइडवे के बीच दबाव वाली हवा की एक पतली परत का उपयोग करता है।घर्षण रहित, घिसाव रहित और अत्यंत सुगम गतिपरंपरागत यांत्रिक बियरिंग के विपरीत, यह फिसलन की समस्या को खत्म करता है, नैनोमीटर स्तर की सटीकता प्रदान करता है और दीर्घकालिक विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है।

2. स्टेज संरचना के लिए सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) का उपयोग क्यों किया जाता है?

उच्च कठोरताएल्युमीनियम मिश्र धातु की तुलना में लगभग 5 गुना अधिक, जिससे गतिशील गति के दौरान विरूपण कम से कम होता है।
कम तापीय विस्तारएल्युमीनियम की तुलना में लगभग 5 गुना कम, तापमान में उतार-चढ़ाव के बावजूद सटीकता बनाए रखता है।
लाइटवेट: स्टील की तुलना में कम घनत्व, जिससे उच्च गति और उच्च त्वरण पर संचालन संभव होता है।
उत्कृष्ट स्थिरता: अति सटीक स्थिति निर्धारण के लिए बेहतर अवमंदन और कठोरता।

3. क्या स्टेज को चिकनाई या रखरखाव की आवश्यकता है?

इसमें किसी पारंपरिक स्नेहक की आवश्यकता नहीं है क्योंकिकोई यांत्रिक संपर्क नहींअनुशंसित रखरखाव में निम्नलिखित शामिल हैं:

आपूर्तिस्वच्छ, शुष्क संपीड़ित हवा या नाइट्रोजन
फिल्टर और ड्रायर का आवधिक निरीक्षण
केबलों और शीतलन प्रणालियों की निगरानी करना

4. वायु आपूर्ति की क्या आवश्यकताएं हैं?

ओस बिंदु: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
कण निस्पंदन: ≤ 0.25 μm
स्वच्छ, शुष्क हवा या 99.99% शुद्ध नाइट्रोजन
न्यूनतम उतार-चढ़ाव के साथ स्थिर दबाव

हमारे बारे में

XKH विशेष ऑप्टिकल ग्लास और नए क्रिस्टल पदार्थों के उच्च-तकनीकी विकास, उत्पादन और बिक्री में विशेषज्ञता रखती है। हमारे उत्पाद ऑप्टिकल इलेक्ट्रॉनिक्स, उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स और सैन्य क्षेत्र में उपयोग किए जाते हैं। हम नीलमणि ऑप्टिकल घटक, मोबाइल फोन लेंस कवर, सिरेमिक, एलटी, सिलिकॉन कार्बाइड एसआईसी, क्वार्ट्ज और सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वेफर्स प्रदान करते हैं। कुशल विशेषज्ञता और अत्याधुनिक उपकरणों के साथ, हम गैर-मानक उत्पाद प्रसंस्करण में उत्कृष्ट हैं और हमारा लक्ष्य ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक सामग्री के क्षेत्र में एक अग्रणी उच्च-तकनीकी उद्यम बनना है।