सिलिकॉन एपि-लेयर वेफर गैलियम नाइट्राइड एपिटैक्सियल वेफर पर 150 मिमी 200 मिमी 6 इंच 8 इंच GaN
निर्माण विधि
विनिर्माण प्रक्रिया में धातु-कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव (एमओसीवीडी) या आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) जैसी उन्नत तकनीकों का उपयोग करके नीलमणि सब्सट्रेट पर GaN परतें बढ़ाना शामिल है। उच्च क्रिस्टल गुणवत्ता और एक समान फिल्म सुनिश्चित करने के लिए जमाव प्रक्रिया नियंत्रित परिस्थितियों में की जाती है।
6 इंच GaN-ऑन-नीलम अनुप्रयोग: 6 इंच की नीलमणि सब्सट्रेट चिप्स का व्यापक रूप से माइक्रोवेव संचार, रडार सिस्टम, वायरलेस तकनीक और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स में उपयोग किया जाता है।
कुछ सामान्य अनुप्रयोगों में शामिल हैं
1. आरएफ पावर एम्पलीफायर
2. एलईडी प्रकाश उद्योग
3. वायरलेस नेटवर्क संचार उपकरण
4. उच्च तापमान वाले वातावरण में इलेक्ट्रॉनिक उपकरण
5. ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरण
उत्पाद विशिष्टताएँ
- आकार: सब्सट्रेट का व्यास 6 इंच (लगभग 150 मिमी) है।
- सतह की गुणवत्ता: उत्कृष्ट दर्पण गुणवत्ता प्रदान करने के लिए सतह को बारीक पॉलिश किया गया है।
- मोटाई: GaN परत की मोटाई को विशिष्ट आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।
- पैकेजिंग: परिवहन के दौरान क्षति को रोकने के लिए सब्सट्रेट को सावधानीपूर्वक एंटी-स्टैटिक सामग्रियों से पैक किया जाता है।
- पोजिशनिंग किनारे: सब्सट्रेट में विशिष्ट पोजिशनिंग किनारे होते हैं जो डिवाइस की तैयारी के दौरान संरेखण और संचालन की सुविधा प्रदान करते हैं।
- अन्य पैरामीटर: विशिष्ट पैरामीटर जैसे पतलापन, प्रतिरोधकता और डोपिंग एकाग्रता को ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार समायोजित किया जा सकता है।
अपने बेहतर भौतिक गुणों और विविध अनुप्रयोगों के साथ, 6-इंच नीलमणि सब्सट्रेट वेफर्स विभिन्न उद्योगों में उच्च-प्रदर्शन अर्धचालक उपकरणों के विकास के लिए एक विश्वसनीय विकल्प हैं।
सब्सट्रेट | 6” 1मिमी <111> पी-टाइप सी | 6” 1मिमी <111> पी-टाइप सी |
एपी थिकएवग | ~5um | ~7उम |
एपी थिकयूनिफ | <2% | <2% |
झुकना | +/-45um | +/-45um |
खुर | <5मिमी | <5मिमी |
लंबवत बी.वी | >1000V | >1400V |
एचईएमटी अल% | 25-35% | 25-35% |
एचईएमटी थिकएवग | 20-30nm | 20-30nm |
इनसितु सिन कैप | 5-60nm | 5-60nm |
2DEG सांद्रण. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
गतिशीलता | ~2000 सेमी2/बनाम (<2%) | ~2000 सेमी2/बनाम (<2%) |
रु | <330ओम/वर्ग (<2%) | <330ओम/वर्ग (<2%) |