150 मिमी 200 मिमी 6 इंच 8 इंच GaN सिलिकॉन एपि-लेयर वेफर पर गैलियम नाइट्राइड एपिटैक्सियल वेफर
निर्माण विधि
इस निर्माण प्रक्रिया में धातु-कार्बनिक रासायनिक वाष्प निक्षेपण (MOCVD) या आणविक किरण एपीटेक्सी (MBE) जैसी उन्नत तकनीकों का उपयोग करके नीलम सब्सट्रेट पर GaN परतें विकसित की जाती हैं। उच्च क्रिस्टल गुणवत्ता और एकसमान फिल्म सुनिश्चित करने के लिए निक्षेपण प्रक्रिया नियंत्रित परिस्थितियों में की जाती है।
6 इंच GaN-On-Sapphire अनुप्रयोग: 6 इंच के नीलम सब्सट्रेट चिप्स का व्यापक रूप से माइक्रोवेव संचार, रडार सिस्टम, वायरलेस प्रौद्योगिकी और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स में उपयोग किया जाता है।
कुछ सामान्य अनुप्रयोगों में शामिल हैं
1. आरएफ पावर एम्पलीफायर
2. एलईडी प्रकाश उद्योग
3. वायरलेस नेटवर्क संचार उपकरण
4. उच्च तापमान वाले वातावरण में इलेक्ट्रॉनिक उपकरण
5. ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरण
उत्पाद विनिर्देश
- आकार: सब्सट्रेट का व्यास 6 इंच (लगभग 150 मिमी) है।
- सतह की गुणवत्ता: उत्कृष्ट दर्पण गुणवत्ता प्रदान करने के लिए सतह को बारीक पॉलिश किया गया है।
- मोटाई: GaN परत की मोटाई विशिष्ट आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित की जा सकती है।
- पैकेजिंग: परिवहन के दौरान क्षति को रोकने के लिए सब्सट्रेट को एंटी-स्टैटिक सामग्रियों के साथ सावधानीपूर्वक पैक किया जाता है।
- स्थिति निर्धारण किनारे: सब्सट्रेट में विशिष्ट स्थिति निर्धारण किनारे होते हैं जो उपकरण तैयार करने के दौरान संरेखण और संचालन को सुविधाजनक बनाते हैं।
- अन्य पैरामीटर: विशिष्ट पैरामीटर जैसे पतलापन, प्रतिरोधकता और डोपिंग सांद्रता को ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार समायोजित किया जा सकता है।
अपने श्रेष्ठ भौतिक गुणों और विविध अनुप्रयोगों के साथ, 6-इंच नीलम सब्सट्रेट वेफर्स विभिन्न उद्योगों में उच्च-प्रदर्शन अर्धचालक उपकरणों के विकास के लिए एक विश्वसनीय विकल्प हैं।
| सब्सट्रेट | 6” 1मिमी <111> पी-प्रकार Si | 6” 1मिमी <111> पी-प्रकार Si |
| एपि थिकएवीजी | ~5um | ~7um |
| एपि थिकयूनिफ | <2% | <2% |
| झुकना | +/-45um | +/-45um |
| खुर | <5 मिमी | <5 मिमी |
| वर्टिकल बीवी | >1000 वी | >1400वी |
| हेमट अल% | 25-35% | 25-35% |
| हेमट मोटाईऔसत | 20-30एनएम | 20-30एनएम |
| इनसिटू SiN कैप | 5-60एनएम | 5-60एनएम |
| 2DEG सांद्र | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
| गतिशीलता | ~2000सेमी2/बनाम (<2%) | ~2000सेमी2/बनाम (<2%) |
| आरएसएच | <330ओम/वर्ग (<2%) | <330ओम/वर्ग (<2%) |
विस्तृत आरेख
