4 इंच SiC वेफर्स 6H सेमी-इंसुलेटिंग SiC सबस्ट्रेट्स प्राइम, रिसर्च और डमी ग्रेड

संक्षिप्त वर्णन:

सेमी-इंसुलेटेड सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट सेमी-इंसुलेटेड सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल के विकास के बाद काटने, पीसने, पॉलिश करने, सफाई और अन्य प्रसंस्करण प्रौद्योगिकी द्वारा बनाया जाता है। सब्सट्रेट पर एक परत या मल्टीलेयर क्रिस्टल परत उगाई जाती है जो एपिटेक्सी के रूप में गुणवत्ता की आवश्यकताओं को पूरा करती है, और फिर सर्किट डिजाइन और पैकेजिंग को मिलाकर माइक्रोवेव आरएफ डिवाइस बनाया जाता है। 2 इंच 3 इंच 4 इंच 6 इंच 8 इंच औद्योगिक, अनुसंधान और परीक्षण ग्रेड अर्ध-इन्सुलेटेड सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेट के रूप में उपलब्ध है।

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उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

उत्पाद विशिष्टता

श्रेणी			शून्य एमपीडी उत्पादन ग्रेड (जेड ग्रेड)			मानक उत्पादन ग्रेड(पी ग्रेड)		डमी ग्रेड (डी ग्रेड)
व्यास			99.5 मिमी~100.0 मिमी
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
वेफर ओरिएंटेशन			अक्ष से बाहर: 4.0° की ओर <1120 > ±0.5° 4H-N के लिए, अक्ष पर: <0001>±0.5° 4H-SI के लिए
	4H-SI		≤1 सेमी^-2			≤5 सेमी^-2		≤15 सेमी^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·सेमी					≥1E5 Ω·सेमी
प्राथमिक फ्लैट अभिविन्यास		{10-10} ±5.0°
प्राथमिक समतल लंबाई		32.5 मिमी±2.0 मिमी
द्वितीयक समतल लंबाई		18.0 मिमी±2.0 मिमी
माध्यमिक फ्लैट ओरिएंटेशन		सिलिकॉन फेस अप: 90° CW. प्राइम फ़्लैट से ±5.0°
किनारा बहिष्करण		3 मिमी
एलटीवी/टीटीवी/धनुष/ताना		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
बेअदबी			सी चेहरा				पोलिश		Ra≤1 एनएम
			सी चेहरा	सीएमपी	Ra≤0.2 एनएम					Ra≤0.5 एनएम
उच्च तीव्रता वाले प्रकाश से किनारों में दरारें		कोई नहीं						संचयी लंबाई ≤ 10 मिमी, एकल लंबाई≤2 मिमी
उच्च तीव्रता प्रकाश द्वारा हेक्स प्लेटें		संचयी क्षेत्र ≤0.05%						संचयी क्षेत्र ≤0.1%
उच्च तीव्रता वाले प्रकाश द्वारा पॉलीटाइप क्षेत्र		कोई नहीं						संचयी क्षेत्रफल≤3%
दृश्य कार्बन समावेशन		संचयी क्षेत्र ≤0.05%						संचयी क्षेत्र ≤3%
उच्च तीव्रता वाले प्रकाश से सिलिकॉन की सतह पर खरोंचें		कोई नहीं						संचयी लंबाई≤1＊वेफर व्यास
एज चिप्स हाई इंटेंसिटी लाइट द्वारा		किसी को भी ≥0.2 मिमी चौड़ाई और गहराई की अनुमति नहीं है						5 की अनुमति है, ≤1 मिमी प्रत्येक
उच्च तीव्रता द्वारा सिलिकॉन सतह संदूषण		कोई नहीं
पैकेजिंग		मल्टी-वेफर कैसेट या सिंगल वेफर कंटेनर