8 इंच SiC सिलिकॉन कार्बाइड वेफर, 4H-N प्रकार, 0.5 मिमी उत्पादन ग्रेड, अनुसंधान ग्रेड, कस्टम पॉलिश सब्सट्रेट
8 इंच सिलिकॉन कार्बाइड सबस्ट्रेट 4H-N प्रकार की मुख्य विशेषताएं इस प्रकार हैं:
1. माइक्रोट्यूब्यूल घनत्व: ≤ 0.1/सेमी² या उससे कम, जैसे कि कुछ उत्पादों में माइक्रोट्यूब्यूल घनत्व काफी कम होकर 0.05/सेमी² से भी कम हो जाता है।
2. क्रिस्टल रूप अनुपात: 4H-SiC क्रिस्टल रूप अनुपात 100% तक पहुँच जाता है।
3. प्रतिरोधकता: 0.014~0.028 Ω·cm, या 0.015-0.025 Ω·cm के बीच अधिक स्थिर।
4. सतह की खुरदरापन: सीएमपी एसआई फेस Ra≤0.12nm.
5. मोटाई: आमतौर पर 500.0±25μm या 350.0±25μm.
6. चैम्फरिंग कोण: मोटाई के आधार पर A1/A2 के लिए 25±5° या 30±5°।
7. कुल विस्थापन घनत्व: ≤3000/सेमी²।
8. सतह धातु संदूषण: ≤1E+11 परमाणु/सेमी²।
9. झुकाव और विकृति: क्रमशः ≤ 20μm और ≤2μm।
इन विशेषताओं के कारण 8-इंच सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट का उच्च तापमान, उच्च आवृत्ति और उच्च शक्ति वाले इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों के निर्माण में महत्वपूर्ण अनुप्रयोग मूल्य है।
8 इंच सिलिकॉन कार्बाइड वेफर के कई अनुप्रयोग हैं।
1. विद्युत उपकरण: SiC वेफर्स का उपयोग विद्युत इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों जैसे कि पावर MOSFETs (मेटल-ऑक्साइड-सेमीकंडक्टर फील्ड-इफेक्ट ट्रांजिस्टर), शॉट्की डायोड और विद्युत एकीकरण मॉड्यूल के निर्माण में व्यापक रूप से किया जाता है। SiC की उच्च तापीय चालकता, उच्च ब्रेकडाउन वोल्टेज और उच्च इलेक्ट्रॉन गतिशीलता के कारण, ये उपकरण उच्च तापमान, उच्च वोल्टेज और उच्च आवृत्ति वाले वातावरण में कुशल और उच्च-प्रदर्शन विद्युत रूपांतरण प्राप्त कर सकते हैं।
2. ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरण: SiC वेफर्स ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं, जिनका उपयोग फोटोडिटेक्टर, लेजर डायोड, पराबैंगनी स्रोत आदि के निर्माण में किया जाता है। सिलिकॉन कार्बाइड के बेहतर ऑप्टिकल और इलेक्ट्रॉनिक गुण इसे पसंदीदा सामग्री बनाते हैं, विशेष रूप से उन अनुप्रयोगों में जिनमें उच्च तापमान, उच्च आवृत्ति और उच्च शक्ति स्तर की आवश्यकता होती है।
3. रेडियो फ्रीक्वेंसी (आरएफ) उपकरण: SiC चिप्स का उपयोग आरएफ पावर एम्पलीफायर, हाई-फ्रीक्वेंसी स्विच, आरएफ सेंसर आदि जैसे आरएफ उपकरणों के निर्माण में भी किया जाता है। SiC की उच्च तापीय स्थिरता, उच्च आवृत्ति विशेषताएँ और कम हानि इसे वायरलेस संचार और रडार सिस्टम जैसे आरएफ अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाती हैं।
4. उच्च तापमान इलेक्ट्रॉनिक्स: अपनी उच्च तापीय स्थिरता और तापमान लोचशीलता के कारण, SiC वेफर्स का उपयोग उच्च तापमान वाले वातावरण में काम करने के लिए डिज़ाइन किए गए इलेक्ट्रॉनिक उत्पादों के उत्पादन के लिए किया जाता है, जिसमें उच्च तापमान पावर इलेक्ट्रॉनिक्स, सेंसर और नियंत्रक शामिल हैं।
8 इंच सिलिकॉन कार्बाइड सबस्ट्रेट 4H-N प्रकार के मुख्य अनुप्रयोग क्षेत्रों में उच्च तापमान, उच्च आवृत्ति और उच्च शक्ति वाले इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों का निर्माण शामिल है, विशेष रूप से ऑटोमोटिव इलेक्ट्रॉनिक्स, सौर ऊर्जा, पवन ऊर्जा उत्पादन, इलेक्ट्रिक लोकोमोटिव, सर्वर, घरेलू उपकरण और इलेक्ट्रिक वाहन। इसके अतिरिक्त, SiC MOSFET और शॉटकी डायोड जैसे उपकरणों ने स्विचिंग आवृत्तियों, शॉर्ट-सर्किट प्रयोगों और इन्वर्टर अनुप्रयोगों में उत्कृष्ट प्रदर्शन किया है, जिससे पावर इलेक्ट्रॉनिक्स में इनका उपयोग बढ़ रहा है।
XKH को ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार अलग-अलग मोटाई में अनुकूलित किया जा सकता है। विभिन्न प्रकार की सतह खुरदरापन और पॉलिशिंग उपचार उपलब्ध हैं। विभिन्न प्रकार की डोपिंग (जैसे नाइट्रोजन डोपिंग) समर्थित हैं। XKH तकनीकी सहायता और परामर्श सेवाएं प्रदान कर सकता है ताकि ग्राहक उपयोग प्रक्रिया में आने वाली समस्याओं का समाधान कर सकें। 8-इंच सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट लागत में कमी और क्षमता में वृद्धि के मामले में महत्वपूर्ण लाभ प्रदान करता है, जिससे 6-इंच सब्सट्रेट की तुलना में प्रति यूनिट चिप लागत लगभग 50% तक कम हो जाती है। इसके अलावा, 8-इंच सब्सट्रेट की बढ़ी हुई मोटाई मशीनिंग के दौरान ज्यामितीय विचलन और किनारे के विरूपण को कम करने में मदद करती है, जिससे उत्पादन में सुधार होता है।
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