8 इंच 200 मिमी सिलिकॉन कार्बाइड SiC वेफर्स 4H-N प्रकार उत्पादन ग्रेड 500um मोटाई

साइज़: 8 इंच;

व्यास: 200mm±0.2;

मोटाई: 500um±25;

सतह अभिविन्यास: 4 की ओर [11-20]±0.5°;

पायदान अभिविन्यास:[1-100]±1°；

पायदान गहराई: 1±0.25 मिमी;

माइक्रोपाइप: <1cm2;

हेक्स प्लेट्स: किसी की अनुमति नहीं;

प्रतिरोधकता: 0.015~0.028Ω;

ईपीडी:<8000सेमी2;

टेड:<6000 सेमी2

बीपीडी:<2000सेमी2

टीएसडी:<1000 सेमी2

एसएफ: क्षेत्र<1%

टीटीवी≤15um；

Warp≤40um；

धनुष≤25um；

पॉली क्षेत्र: ≤5%;

स्क्रैच: <5 और संचयी लंबाई <1 वेफर व्यास;

चिप्स/इंडेंट: कोई भी डी>0.5 मिमी चौड़ाई और गहराई की अनुमति नहीं देता;

दरारें: कोई नहीं;

दाग: कोई नहीं

वेफर किनारा: चम्फर;

सतह खत्म: डबल साइड पॉलिश, सी फेस सीएमपी;

पैकिंग: मल्टी-वेफर कैसेट या सिंगल वेफर कंटेनर;

200 मिमी 4H-SiC क्रिस्टल की तैयारी में वर्तमान कठिनाइयाँ मुख्य

1) उच्च गुणवत्ता वाले 200 मिमी 4H-SiC बीज क्रिस्टल की तैयारी;

2) बड़े आकार के तापमान क्षेत्र की गैर-एकरूपता और न्यूक्लियेशन प्रक्रिया नियंत्रण;

3) बड़े क्रिस्टल विकास प्रणालियों में गैसीय घटकों की परिवहन दक्षता और विकास;

4) बड़े आकार के थर्मल तनाव में वृद्धि के कारण क्रिस्टल क्रैकिंग और दोष प्रसार।

इन चुनौतियों पर काबू पाने और उच्च गुणवत्ता वाले 200 मिमी SiC वेफर्स प्राप्त करने के लिए समाधान प्रस्तावित हैं:

200 मिमी बीज क्रिस्टल की तैयारी के संदर्भ में, उपयुक्त तापमान क्षेत्र प्रवाह क्षेत्र, और विस्तारित असेंबली का अध्ययन किया गया और क्रिस्टल की गुणवत्ता और विस्तार के आकार को ध्यान में रखते हुए डिजाइन किया गया;150 मिमी SiC एसई:डी क्रिस्टल से शुरू करके, धीरे-धीरे SiC क्रिस्टलीकरण को 200 मिमी तक पहुंचने तक विस्तारित करने के लिए बीज क्रिस्टल पुनरावृत्ति को आगे बढ़ाएं;एकाधिक क्रिस्टल विकास और प्रक्रिया के माध्यम से, क्रिस्टल विस्तार क्षेत्र में क्रिस्टल गुणवत्ता को धीरे-धीरे अनुकूलित करें, और 200 मिमी बीज क्रिस्टल की गुणवत्ता में सुधार करें।

200 मिमी प्रवाहकीय क्रिस्टल और सब्सट्रेट तैयारी के संदर्भ में, अनुसंधान ने बड़े आकार के क्रिस्टल विकास के लिए तापमान क्षेत्र और प्रवाह क्षेत्र डिजाइन को अनुकूलित किया है, 200 मिमी प्रवाहकीय SiC क्रिस्टल विकास का संचालन किया है, और डोपिंग एकरूपता को नियंत्रित किया है।क्रिस्टल के मोटे तौर पर प्रसंस्करण और आकार देने के बाद, एक मानक व्यास वाला 8 इंच का विद्युत प्रवाहकीय 4H-SiC पिंड प्राप्त हुआ।525um या उससे अधिक की मोटाई वाले SiC 200mm वेफर्स प्राप्त करने के लिए काटने, पीसने, पॉलिश करने, प्रसंस्करण के बाद