8 इंच सिलिकॉन वेफर पी/एन-टाइप (100) 1-100Ω डमी रीक्लेम सब्सट्रेट
वेफर बॉक्स का परिचय
8-इंच सिलिकॉन वेफर आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली सिलिकॉन सब्सट्रेट सामग्री है और एकीकृत सर्किट की निर्माण प्रक्रिया में इसका व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। ऐसे सिलिकॉन वेफर्स का उपयोग आमतौर पर माइक्रोप्रोसेसर, मेमोरी चिप्स, सेंसर और अन्य इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों सहित विभिन्न प्रकार के एकीकृत सर्किट बनाने के लिए किया जाता है। 8-इंच सिलिकॉन वेफर्स का उपयोग आमतौर पर अपेक्षाकृत बड़े आकार के चिप्स बनाने के लिए किया जाता है, जिसमें बड़े सतह क्षेत्र और एक सिलिकॉन वेफर पर अधिक चिप्स बनाने की क्षमता शामिल है, जिससे उत्पादन क्षमता में वृद्धि होती है। 8 इंच के सिलिकॉन वेफर में अच्छे यांत्रिक और रासायनिक गुण भी हैं, जो बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट उत्पादन के लिए उपयुक्त है।
उत्पाद की विशेषताएँ
8" पी/एन प्रकार, पॉलिश सिलिकॉन वेफर (25 पीसी)
अभिमुखीकरण: 200
प्रतिरोधकता: 0.1 - 40 ओम• सेमी (यह बैच से बैच में भिन्न हो सकती है)
मोटाई: 725+/-20um
प्राइम/मॉनिटर/टेस्ट ग्रेड
भौतिक गुण
पैरामीटर | विशेषता |
टाइप/डोपेंट | पी, बोरोन एन, फॉस्फोरस एन, एंटीमनी एन, आर्सेनिक |
झुकाव | <100>, <111> ग्राहक की विशिष्टताओं के अनुसार ओरिएंटेशन को काट दें |
ऑक्सीजन सामग्री | 1019ग्राहक के विनिर्देश के अनुसार पीपीएमए कस्टम सहनशीलता |
कार्बन सामग्री | <0.6 पीपीएमए |
यांत्रिक विशेषताएं
पैरामीटर | मुख्य | मॉनिटर/टेस्ट ए | परीक्षा |
व्यास | 200±0.2मिमी | 200 ± 0.2 मिमी | 200 ± 0.5 मिमी |
मोटाई | 725±20µm (मानक) | 725±25µm(मानक) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (मानक) |
टीटीवी | <5 µm | <10 µm | <15 µm |
झुकना | <30 µm | <30 µm | <50 µm |
लपेटना | <30 µm | <30 µm | <50 µm |
किनारे की गोलाई | अर्ध-एसटीडी | ||
अंकन | केवल प्राथमिक सेमी-फ़्लैट, सेमी-एसटीडी फ़्लैट्स जैदा फ़्लैट, नॉच |
पैरामीटर | मुख्य | मॉनिटर/टेस्ट ए | परीक्षा |
फ्रंट साइड क्राइटेरिया | |||
सतह की स्थिति | रासायनिक यांत्रिक पॉलिश | रासायनिक यांत्रिक पॉलिश | रासायनिक यांत्रिक पॉलिश |
सतह का खुरदरापन | <2 ए° | <2 ए° | <2 ए° |
दूषण कण@ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
धुंध,गड्ढे संतरे का छिलका | कोई नहीं | कोई नहीं | कोई नहीं |
देखा, मार्क्स स्त्रिअतिओन्स | कोई नहीं | कोई नहीं | कोई नहीं |
बैक साइड मानदंड | |||
दरारें, कौवे के पैर, आरी के निशान, दाग | कोई नहीं | कोई नहीं | कोई नहीं |
सतह की स्थिति | कास्टिक नक़्क़ाशीदार |